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NTIS 바로가기주관연구기관 | 브이앤아이솔루션 |
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연구책임자 | 조생현 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-10 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
과제관리전문기관 | 연구개발특구진흥재단 Innopolis Foundation |
등록번호 | TRKO201800035902 |
과제고유번호 | 1711033623 |
사업명 | 연구개발특구육성 |
DB 구축일자 | 2018-07-21 |
키워드 | 박막봉지.가스차단막.원자층증착(ALD).OLED.Flexible Display. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800035902 |
1. 연차목표
- 대면적(6G Half)/멀티기판(2장) 동시 처리 가능한 공정 챔버 설계/제작
2. 개발내용 및 결과
1) 공간분할 방식의 시스템 및 공정, 다수기판 처리 가능 대면적 공정 챔버 설계 및 제작
2) 코팅 헤드 (공정가스/전구체 주입용) 설계
3. 기대효과(기술적 및 경제적 효과)
- 경제적효과: ① 신규공정/장비 도입에 따른 패널제조사 제조비용 절감 ② 기존 공법(PECVD, 외산 장비) 대체에 따른 수입대체/수출증대
- 기술적효과: ① 국내디스플레이 업계의 기술
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