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NTIS 바로가기주관연구기관 | 크레셈 |
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연구책임자 | 유상혁 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800036193 |
과제고유번호 | 1711062455 |
사업명 | 연구개발특구육성 |
DB 구축일자 | 2018-07-28 |
키워드 | 초음파.ACF 본딩.미세피치.지문인식 센서.Ultra Sonic.ACF Bonding.Accurate Pitch.Finger Print. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800036193 |
1. 연차목표
1) 초음파 접합 공정을 적용하여 생산성 최적화 공정 파라미터 확립
2) Align정밀도 및 본딩 품질 검사를 위한 검사 시스템 개발
3) 기존 공정대비 단축된 공정시간(10초 수준)을 갖는 시작 단계의 초음파 ACF장비 개발
2. 개발내용 및 결과
1) 개별 모듈(초음파 본딩, 비전, 고정-Align용 JIG) 개발, 제작 및 테스트 완료.
2) 다양한 샘플을 이용하여 본딩 및 위치 보정을 통한 샘플의 최종 본딩 품질 검사 실시.
3) 1차년도 과제 목표 기준으로 본딩 품
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