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NTIS 바로가기주관연구기관 | 오피트 |
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연구책임자 | 김창준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-11 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039681 |
과제고유번호 | 1415142445 |
사업명 | 소재부품기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 엑스레이 그리드.마이크로머시닝.자외선 노광.레이져 노광.감광성 유리. |
□ 핵심기술
기존 엑스레이 장비로 고해상도 영상 획득가능.
난반사되는 부분을 제거하여 필요한 직진파장만의 디텍션 가능
□ 최종목표
일반 노광 기술을 이용한 고해상도 엑스레이 그리드 개발 차폐재 충진기술 개발
경사노광기술을 이용한 고해상도 그리드 개발
물질의 특성, 기하학적 형상 등이 방사선차폐에 미치는 영향 연구
□ 개발내용 및 결과
그리드의 사이즈가 커짐에 따라 엑스레이의 입사각도를 고려해야 하므로 레이저를 각 픽셀에 입사되는 각도를 고려하여 조사시켜야 한다. 이후에는 기존
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