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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 송재용 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-10 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039836 |
과제고유번호 | 1415142330 |
사업명 | 소재부품기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 칼코지나이드계 화합물.박막성장.전하이동도.굴절률.밴드갭.열전도도.광전자소자. |
핵심기술
고품질 칼코지나이드계 2차원 소재를 대면적(8인치이상)으로 성장시키고 2차원 소재에 최적화된 물성 분석 및 평가 기술 개발
최종목표
ALD/CVD를 통한 8인치 이상 대면적의 층수 조절된 고품위 2차원 소재합성 및 소재물성의 정밀측정평가 및 계산을 통해 물성 제어 기술을 개발하여 차세대 전자소자 응용 가능한 원천기술 개발
- 고품위 2차원 나노소재 박막 성장기술 개발 MX2 (M=Mo, W, X=S, Se2)
- grain size > 200
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