$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

실시간 보정형 롤투롤 패터닝 장비 핵심기술 개발
Development of core technology for real-time compensated roll-to-roll patterning system 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 장원석
참여연구자 한재원 , 유홍기 , 나준희
보고서유형1단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2023-03
과제시작연도 2022
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202300028406
과제고유번호 1711178716
사업명 한국기계연구원연구운영비지원(주요사업비)
DB 구축일자 2023-11-08
키워드 유연전자소자.마스크리스 광패터닝.실시간 보정.롤투롤.Flexible electronics.maskless photolithography.in-line compensation.roll-to-roll.

초록 ▼

1. 연구개발과제의 개요
1) 연구개발의 목적
- 고성능 유연 및 스마트 전자소자 제조용 유연기판 롤투롤 디지털 패터닝을 위한 핵심기술을 개발함
- 마스크리스 노광을 위한 SLM (Spatial Light Modulator) 모듈을 이용한 디지털 패턴 형성과 고속/고해상 패터닝용 노광기 구동 메커니즘 개발
- 고속 레이저 스캐닝 방식의 노광장치용 폴리곤 스캐너 및 데이터 처리 기술 개발
- 롤투롤 장비에서의 ZERO 슬립 및 기판 변형 최소화 이송을 위한 정밀 측정 및 제어기술 개발

2) 연구

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 2
  • 1) 연구개발의 목적 ... 2
  • 2) 연구개발의 필요성 및 범위 ... 2
  • 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 3
  • (1) DMD 기반 고해상도 디지털 패터닝 핵심 기술 ... 3
  • (2) 유연/신축 기판 레이저 고속 멀티스케일 패터닝 기술 ... 15
  • (3) 필름 변형 최소화 연속생산 플랫폼 핵심 기술 ... 24
  • 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 32
  • 1) 연구수행 결과 ... 32
  • 2) 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 42
  • 4. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 42
  • 5. 연구시설·장비 현황 ... 42
  • 1) 도입한 연구시설·장비(도입 비용 3천만 원 이상 또는 NTIS 등록 장비) ... 42
  • 2) 개발한 연구시설·장비 ... 42
  • 6. 참고 문헌 ... 42
  • 끝페이지 ... 43

표/그림 (60)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로