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NTIS 바로가기주관연구기관 | 시지트로닉스 |
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연구책임자 | 조덕호 |
참여연구자 | 이상용 , 장제연 , 최상식 , 정원진 , 이지수 , 최규복 , 김경진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-06 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800042060 |
과제고유번호 | 1711055361 |
사업명 | ICT유망기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 정전기방호.전자기간섭.고주파.반도체.신뢰성.소자.ICT.ESD Protection.EMI.High Frequency.Semiconductor.Reliability.Device. |
핵심기술
- 저농도(~1E13 cm-3)를 갖는 N-type epi 성장 레서피 셋업
- 저정전용량(<0.4pF)을 구현하기 위한 활성영역 및 비활성영역에서의 기생 정전용량 최소화 기술
- 누설전류를 최소화하는 트렌치식각 및 패시베이션 기술
- 기생성분을 최소화하는 패키지 기술
최종목표
- 웨어러블 ICT 기기의 정전기 및 전자기 방호용 초소형 소자 (ULC-TVS) 핵심공정 기술 개발
- 저 정전용량(C < 0.4 pF)을 갖는 패키지형 시제품 개발
개발
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