초록

Ⅳ. 연구결과
- 열 압착 기술 최적화
- Au-불소계고분자 접착 향상 기술 개발
- 플렉시블 신경전극 패시베이션 공정 최적화
- 불소계고분자 플라즈마 식각 공정 최적화
- 전극 정렬 오차 문제 해결
- SU-8 광 패턴 플렉시블 신경전극 제작 공정 기술 개발
- FLuoroLink 광 패턴 플렉시블 신경전극 제작 공정 기술 개발

(출처 : 요약문 5p)

Abstract ▼

Ⅳ. RESULTS
- Optimized thermal pressing of fluoropolymers
- Enhanced the Au-FP adhesion strength
- Optimized fluoropolymer-based flexible neural electrode passivation process
- Optimized plasma etching of fluoropolymers
- Solved the electrode alignment error
- Developed Su-8-based

Ⅳ. RESULTS
- Optimized thermal pressing of fluoropolymers
- Enhanced the Au-FP adhesion strength
- Optimized fluoropolymer-based flexible neural electrode passivation process
- Optimized plasma etching of fluoropolymers
- Solved the electrode alignment error
- Developed Su-8-based flexible neural electrode fabrication
- Developed FluoroLink-based flexible neural electrode fabrication

(출처 : ABSTRACT 8p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 인사말씀 ... 2
• 제 출 문 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• ABSTRACT ... 7
• CONTENTS ... 9
• List of Figures ... 11
• 목차 ... 16
• 그림목차 ... 18
• 제 1 장 연구개발 개요 ... 23
• 제 1 절 연구개발 최종 목표 ... 23
• 제 2 절 기술적 이슈 ... 24
• 1. 뇌, 신경 인터페이스 분야 기술적 이슈 ... 24
• 2. 신경전극 성능 향상 이슈 ... 26
• 3. 저지연 전기 자극기 컨트롤러 개발 이슈 ... 27
• 4. 이벤트 기반 뉴럴 네트워크 학습 방법 이슈 ... 28
• 제 3 절 기존 핵심 성과 ... 29
• 제 4 절 연구개발 로드맵 및 당해년도 중점 추진 내용 ... 31
• 제 2 장 연구개발 내용 및 결과 ... 32
• 제 1 절 플렉시블 16CH ECoG 신경전극 제작 공정 최적화 ... 32
• 1. 불소계고분자 소재 검토 ... 33
• 2. 열 압착 최적화 ... 35
• 3. 금-불소계고분자 접착 향상 기술 개발 ... 38
• 4. 플렉시블 신경전극 패시베이션 공정 최적화 ... 54
• 5. 불소계고분자 플라즈마 식각 공정 최적화 ... 59
• 6. 전극 정렬 오차 문제 해결 ... 64
• 7. 불소계고분자 기반 ECoG 신경전극의 전기화학적 표면 개질 ... 75
• 제 2 절 광 패턴 고분자 플렉시블 16 CH ECoG 신경전극 제작 ... 76
• 1. 광 패턴 고분자 신경전극 제작 공정 도출 ... 76
• 2. SU-8 광 패턴 플렉시블 신경전극 제작 공정 개발 ... 78
• 3. PDMS 광 패턴 플렉시블 신경전극 제작 공정 개발 ... 88
• 4. Fluorolink 광 패턴 플렉시블 신경전극 제작 공정 개발 ... 95
• 제 3 절 전하주입 효율 향상 결과 ... 101
• 1. IrOx/ITO 나노선 전하주입 효율 측정 결과 ... 101
• 제 3 장 주요 연구개발 실적 정리 ... 102
• 제 1 절 논문 실적 ... 102
• 제 2 절 특허 실적 ... 104
• 제 3 절 시작품 결과물 ... 108
• 제 4 장 결 론 ... 109
• 제 1 절 불소계고분자 기반 플렉시블 신경전극 제작 공정 최적화 ... 109
• 제 2 절 광 패턴 고분자를 이용한 신경전극 제작 공정 개발 ... 111
• 제 3 절 향후 계획 ... 112
• 제 5 장 고 신뢰성 플렉시블 신경전극 연구개발 환경 구축 ... 113
• 제 1 절 RF 스퍼터 시스템 구축 ... 113
• 제 2 절 플렉시블 기판용 contact aligner 구축 ... 114
• 제 3 절 Au-불소계고분자 접착세기 측정환경 구축 ... 115
• 제 6 장 생체이식형 신경전극 업체 현황 ... 116
• 제 1 절 신경전극 공급 업체 현황 ... 116
• 제 2 절 신경전극 업체 기술 수준 분석 ... 132
• 부 록 ... 133
• 끝페이지 ... 135