초록

Ⅳ. 연구결과
- IrOx/ITO NW 기반 MEA 제작 기술 개발
- 열 압착 기술 최적화
- Au-불소계고분자 접착 향상 기술 개발
- 플렉시블 신경전극 패시베이션 공정 최적화
- 불소계고분자 플라즈마 식각 공정 최적화
- 전극 정렬 오차 문제 해결
- SU-8 광 패턴 플렉시블 신경전극 제작 공정 기술 개발
- FLuoroLink 광 패턴 플렉시블 신경전극 제작 공정 기술 개발
- 광 접착-광 패턴 동시 구현 기술 개발

(출처 : 요약문 5p)

Abstract ▼

Ⅳ. RESULTS
- Fabricated MEAs with IrOx/ITO NW structure
- Optimized thermal pressing of fluoropolymers
- Enhanced the Au-FP adhesion strength
- Optimized fluoropolymer-based flexible neural electrode passivation process
- Optimized plasma etching of fluoropolymers
- Solved the elec

Ⅳ. RESULTS
- Fabricated MEAs with IrOx/ITO NW structure
- Optimized thermal pressing of fluoropolymers
- Enhanced the Au-FP adhesion strength
- Optimized fluoropolymer-based flexible neural electrode passivation process
- Optimized plasma etching of fluoropolymers
- Solved the electrode alignment error
- Developed Su-8-based flexible neural electrode fabrication
- Developed FluoroLink-based flexible neural electrode fabrication
- Developed simultaneous photoadhesion and photopatterning technique

(출처 : ABSTRACT 8p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 인 사 말 씀 ... 2
• 제 출 문 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• ABSTRACT ... 7
• CONTENTS ... 9
• List of Figures ... 11
• 목차 ... 17
• 그림목차 ... 19
• 제 1 장 연구개발 개요 ... 25
• 제 1 절 연구개발 최종 목표 ... 25
• 제 2 절 기술적 이슈 ... 26
• 1. 뇌, 신경 인터페이스 분야 기술적 이슈 ... 26
• 2. 신경전극 성능 향상 이슈 ... 28
• 3. 이벤트 기반 뉴럴 네트워크 학습 방법 이슈 ... 29
• 제 3 절 연구개발 로드맵 및 당해단계 중점 추진 내용 ... 30
• 제 2 장 연구개발 내용 및 결과 ... 31
• 제 1 절 1 차년도 연구개발 내용 및 결과 ... 31
• 1. 1 차년도 목표 및 연구개발 내용 ... 31
• 2. in vitro 신경전극 개발 ... 32
• 3. in vivo 신경전극 기술 개발 ... 49
• 4. 뉴로모픽 신경공학 기술 개발 ... 73
• 제 2 절 2 차년도 연구개발 내용 및 결과 ... 96
• 1. 2차년도 목표 및 연구개발 내용 ... 96
• 2. 불소고분자 기반 신경전극 제작 공정 최적화 (I) ... 97
• 3. 광 가교 고분자 기반 신경전극 제작 기술 개발 ... 136
• 4. 전하주입효율 향상 결과 ... 159
• 제 3 절 3 차년도 연구개발 내용 및 결과 ... 161
• 1. 3차년도 목표 및 연구개발 내용 ... 161
• 2. 불소고분자 기반 신경전극 제작 공정 최적화 (II) ... 163
• 3. 불소고분자 필름 내화학성 평가 ... 172
• 4. FLuorolink 광 패턴 특성 평가 ... 177
• 5. FLuorolink 기반 신경전극 제작 ... 189
• 6. 불소고분자 신경전극 성능 동물실험 평가 ... 200
• 7. 광 접착 - 광 패턴 동시 구현 기술 ... 205
• 제 3 장 연구개발 결과의 활용계획 ... 223
• 제 1 절 3단계 추진 연구개발 내용 ... 223
• 1. 광 가교 불소고분자 기반 신경전극 제작 ... 223
• 2. 불소고분자용 lift-off 기술 개발 광 가교 불소고분자 기반 신경전극 제작 ... 224
• 3. 무선 신경신호 시스템 집적화 ... 225
• 제 2 절 고신뢰성 신경전극 활용범위 검토 ... 226
• 1. 다양한 신경질환 및 신경 보철 적용 ... 226
• 1. 폐-회로 신경조절(neuromodulation) 분야 적용 ... 227
• 제 4 장 결 론 ... 228
• 제 1 절 불소계고분자 기반 플렉시블 신경전극 제작 공정 최적화 ... 228
• 제 2 절 광 패턴 고분자를 이용한 신경전극 제작 공정 개발 ... 230
• 제 3 절 향후 계획 ... 231
• 제 4 장 고 신뢰성 플렉시블 신경전극 연구개발 환경 구축 ... 232
• 제 1 절 RF 스퍼터 시스템 구축 ... 232
• 제 2 절 플렉시블 기판용 contact aligner 구축 ... 234
• 제 3 절 Au-불소계고분자 접착세기 측정환경 구축 ... 236
• 약 어 표 ... 237
• 끝페이지 ... 238