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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 송신애 |
참여연구자 | 김기영 , 임성남 , 김준홍 , 김형태 , 윤철상 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-12 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201900014026 |
과제고유번호 | 1711079247 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2019-09-07 |
제 1 장 개 요
제 1 절 연구개발 목표
ㅇ 주문형 비메모리 반도체 검사용 고다층 프로브 카드 제조 기술 개발 2000pin이상, 100um pitch 이하, 누설전류 3nA 이하, 12층이상 급의 고사양 탐침형 프로브 카드 제조 기술 개발
- Pitch 미세화 및 Pin수 대량화 적용 필름 가공 기술개발
- 열부식 방지 및 전기적 특성강화 니들 표면처리기술 개발
- 탐침 고정화를 위한 고다층 핀 모듈 제작 기술 개발
- 고집적 미세 Pitch 니들과 초소형 PCB land간 bonding
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