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Kafe 바로가기주관연구기관 | 고려대학교 Korea University |
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연구책임자 | 이헌 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-03 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900020319 |
과제고유번호 | 1711070255 |
사업명 | STEAM연구(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-04-25 |
키워드 | 메타물질.메타아톰.3차원 테라스케일 메타구조.나노임프린트.나노결정 리간드.Metamaterial.Meta-atom.3D terascale metastructure.Nanoimprint.Nanocrystal ligand. |
● 메타아톰 제조용 20 nm급 마스터 스탬프 제작
◆ AAO복제 폴리머 몰드를 사용하여 30 nm급 폴리머 복제몰드 제조기술 개발
◆ NIL공정 및 건식식각 공정을 이용한 20nm급 쿼츠 마스터스탬프 제작
◆ NIL공정 및 BCP 선택적 분화 공정을 통해 10nm급 마스터 패턴 제작
● 고품질 FOM 특성을 갖는 메타아톰 제조기술 개발
◆ 금속나노결정의 리간드 교환공정 및 이종나노결정 간의 혼합을 통한 Vis-NIR에서 저손실 특성을 갖는 메타아톰 제조기술 개발
◆ Lift-off 공정을 기
● 메타아톰 제조용 20 nm급 마스터 스탬프 제작
◆ AAO복제 폴리머 몰드를 사용하여 30 nm급 폴리머 복제몰드 제조기술 개발
◆ NIL공정 및 건식식각 공정을 이용한 20nm급 쿼츠 마스터스탬프 제작
◆ NIL공정 및 BCP 선택적 분화 공정을 통해 10nm급 마스터 패턴 제작
● 고품질 FOM 특성을 갖는 메타아톰 제조기술 개발
◆ 금속나노결정의 리간드 교환공정 및 이종나노결정 간의 혼합을 통한 Vis-NIR에서 저손실 특성을 갖는 메타아톰 제조기술 개발
◆ Lift-off 공정을 기반으로 하는 고품질 FOM을 갖는 금속/산화물/금속 nanodisk 메타아톰 제조공정 개발 (50 nm ≤ 메타아톰 크기)
● 2차원 및 3차원 메타구조체 제조공정 개발
◆ 3차원 메타구조체 제작을 위한 적층형 나노임프린팅 공정 및 나노전사공정 개발
◆ M/O/M 10층 적층구조를 통한 광대역 공진 메타구조체 최적화 기술 개발.
● 광에너지소자 맞춤형 메타구조 제작공정 개발
◆ 태양광 완전 흡수체 제작을 위한 가시광-NIR 영역에서 95% 이상의 흡수특성을 갖는 메타구조체 제조공정 개발
◆ 수소생산 광전극 맞춤형 3차원 금속/이종접합 반도체 메타구조체 개발 및 광전기 화학반응 최적화(광전류 ≧5mA/cm2)
(출처 : 보고서 요약서 4p)
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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