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20 nm 급 3차원 테라스케일 메타물질 구현을 위한 공정·소재 기술 개발
Development of process and materials for the implementation of 20 nm-class and Tera-scale 3-dimensional metamaterial 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 고려대학교
Korea University
연구책임자 이헌
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2019-03
과제시작연도 2018
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO201900020319
과제고유번호 1711070255
사업명 STEAM연구(R&D)
DB 구축일자 2020-04-25
키워드 메타물질.메타아톰.3차원 테라스케일 메타구조.나노임프린트.나노결정 리간드.Metamaterial.Meta-atom.3D terascale metastructure.Nanoimprint.Nanocrystal ligand.

초록 ▼

● 메타아톰 제조용 20 nm급 마스터 스탬프 제작
◆ AAO복제 폴리머 몰드를 사용하여 30 nm급 폴리머 복제몰드 제조기술 개발
◆ NIL공정 및 건식식각 공정을 이용한 20nm급 쿼츠 마스터스탬프 제작
◆ NIL공정 및 BCP 선택적 분화 공정을 통해 10nm급 마스터 패턴 제작

● 고품질 FOM 특성을 갖는 메타아톰 제조기술 개발
◆ 금속나노결정의 리간드 교환공정 및 이종나노결정 간의 혼합을 통한 Vis-NIR에서 저손실 특성을 갖는 메타아톰 제조기술 개발
◆ Lift-off 공정을 기

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 요약서 ... 3
  • 요약문 ... 5
  • 목차 ... 6
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 7
  • 제1절 연구개발의 목적 ... 7
  • 제2절 연구개발의 필요성 ... 7
  • 제3절 연구개발의 범위 ... 9
  • 2. 연구수행내용 및 성과 ... 10
  • 3. 목표 달성도 및 관련 분야 기여도 ... 134
  • 3-1. 목표 ... 134
  • 3-2. 목표 달성여부 ... 136
  • 4. 연구개발성과의 활용 계획 등 ... 141
  • 제1절 타 연구에서의 응용 ... 141
  • 제2절 기업화 추진 방안 ... 141
  • 참고문헌 ... 142
  • 끝페이지 ... 144

표/그림 (254)

참고문헌 (25)

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