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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경성대학교 KyungSung University |
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연구책임자 | 박준협 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-06 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900020591 |
과제고유번호 | 1711071697 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-04-25 |
키워드 | 수직형 마이크로 프로브.신뢰성 설계.박막 인장 물성.박막 피로 물성.다층 박막.in-situ SEM. |
□ 연구개요
본 연구의 목표는 3차원 집적 회로의 EDS 검사 용도로 쓰이는 수직형 프로브카드 의 집적도 향상을 위한 세계적 수준의 상용화가 가능한 초미세 다층박막 프로브의 신뢰성 설계 및 공정기술 개발이다. 최종적인 목표는, 40um 피치 대응 고신뢰성의 수직형 마이크로 프로브 개발로 1) 구조 성능기준: 초과 변위(Over drive) 60um 인가 시 접촉 하중 1.0gf 이하, 수명 20만회 이상, 2) 전기 성능기준: 최대 전류 흐름 용량(Current carrying capacity) 0.6A 이상이다. 이를 위해서
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