초록 ▼

□ 연구개요
본 연구 과제는 차세대 지능형 전자소자의 구현을 위해서, 고감지성 센서소자를 개발하는 것으로, 칼코겐 소재와 산화물 소재을 활용한 융합소재를 통해 “신개념 칼코겐/산화물 다층구조 박막 트랜지스터를 이용한 초고감도 센서” 개발을 목적으로, 1) 가시광 감지 소재 및 가시광 비감지형 고신뢰성 소재 확보, 2) 가기광 감지형 칼코겐과 비감지형 산화물 소재 융합기술을 통한 고신뢰성 포토트랜지스터 제작 기술 확보, 그리고 3) 대면적 대응 공정기술 확보를 통한 가시광 포토트랜지스터 소자 제작 공정기술을 개발하는 것을 목표로

□ 연구개요
본 연구 과제는 차세대 지능형 전자소자의 구현을 위해서, 고감지성 센서소자를 개발하는 것으로, 칼코겐 소재와 산화물 소재을 활용한 융합소재를 통해 “신개념 칼코겐/산화물 다층구조 박막 트랜지스터를 이용한 초고감도 센서” 개발을 목적으로, 1) 가시광 감지 소재 및 가시광 비감지형 고신뢰성 소재 확보, 2) 가기광 감지형 칼코겐과 비감지형 산화물 소재 융합기술을 통한 고신뢰성 포토트랜지스터 제작 기술 확보, 그리고 3) 대면적 대응 공정기술 확보를 통한 가시광 포토트랜지스터 소자 제작 공정기술을 개발하는 것을 목표로 수행함.

□ 연구 목표대비 연구결과
○ 본 연구에서는 차세대 지능형 전자소자 구현을 위한 고감지형 센서소자 제작을 위해 기존의 선형성이 좋은 Resistor-type의 소자의 단점을 극복하기 위해 Transistor-type의 소자를 제안하였으며, 고성능의 센서소자를 구현하기 위해서 칼코겐/산화물 소재의 다층구조의 소재 설계기술과 플렉시블 전자소자에 대응하기 위한 저온 공정기술을 확보하고자 연구를 진행하였고, 연구를 성공적으로 달성하기 위해 다음과 같은 연차별 목표로 연구하여 다음과 같은 성과를 도출하였다.
○ 1차년도: 고효율의 가시광 감지 소재의 합성기술 및 센서 소자용 트랜지스터 제작기술 확보
- 저온공정법을 활용하여 고감지성 칼코겐 소재의 합성기술을 확보
- 플렉시블 트랜지스터 소자제작을 위한 칼코겐 소재 및 산화물 소재를 통한 이용한 저온공정기반 고이동도와 고신로성의 트랜지스터 소자 제작기술 확보
○ 2차년도: 가시광 감지형/비감지형 소재의 융합 소재 설계 기술 및 고신뢰성 포토트랜지스터 기술을 확보
- 가시광 감지형 칼코겐 소재와 비감지형 산화물 소재의 설계기술 확보
- 적층형 소재설계 기술 최적화를 통한 고성능의 센서소자 확보
- 고성능의 포토트랜지스터 소자 제작 및 분석기술 확보
○ 3차년도: 미래형 포토트랜지스터 위한 대면적 대응공정 기술 확보 및 소자의 응용성 확대를 위한 화학센서 소자로의 특성 평가
- 초박형의 플렉시블 전자기기를 위한 초박형 트랜지스터 소자의 저온형 대면적 공정기술 확보
- 제안한 트랜지스터형 센서소자의 응용성 확대를 위한 화학센서 평가 실시, 이를 통해 화학센서로의 활용가능성 확인

□ 연구개발결과의 중요성
○ 미래 지능형 전자기기는 인간의 몸에 부착/이식하는 인체 친화적 소자들로 개발되고 있으며, 고성능의 센서소자의 개발이 핵심기술임. 미래지능형 센서소자는 각 소재의 한계를 극복할 수 있는 기술들이 요구됨.
○ 본 연구에서 제안한 기술은 미래지능형 고성능 센서소자는 고감지능력을 갖추어야 하며, 플렉시블한 형태의 소자로 구성되어야 한다는 요구조건에 부합하기 위해
1) 소재의 장점을 극대화 할 수 있는 융합소재, 2) 고감지능력을 위한 트랜지스터형 센서 소자, 그리고 3) 플렉시블 소자를 위한 공정기술을 제안하여, 향후 미래형 전자기기의 구현을 위한 기초연구결과를 제공하는 기여를 함.

(출처 : 연구결과 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구결과 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 1.1 연구과제의 최종목표 ... 4
• 1.2 연구개발의 필요성 ... 4
• 1.3 연구과제 목표달성을 위한 가설 및 연구범위 ... 5
• 2. 연구수행내용 및 연구결과 ... 6
• 2.1 연구의 이론적/실험적 접근 방법 ... 6
• 2.2 연구 내용 및 결과 ... 7
• 3. 연구개발결과의 중요성 ... 13
• 4. 참고문헌 ... 14
• 5. 연구성과 ... 14
• 대표적 연구실적 ... 17
• 끝페이지 ... 32