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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 김영주 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-06 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900021685 |
과제고유번호 | 1711083664 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-05-23 |
키워드 | 광학 측정장치.나노 스페클 이미징.3차원 측정.광간섭 시스템.이미지 처리. |
□ 연구개요
● 연구의 목적 및 필요성
▸NT, BT 등 분야의 기술이 발전함에 따라, 과거 중요한 이슈였던 마이크로 형상의 가공 및 측정에서 그 영역이 나노까지 확장 되고 있는 추세이다. 이에 나노 해상도의 시료들에 대해 고속 정밀 관측이 요구되고 있다.
▸마이크로 형상의 경우 기존 디지털 홀로그래피 기술을 통해 측정이 가능하나,나노 형상의 경우 광학적 회절 한계로 인해 측정이 불가능하며 SEM, AFM등 contact 기반 또는 Confocal, PALM 등 형광 기반 측정 장치를 통해 그 특성을 측정했다.
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