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고속중성자 이용 전력반도체 성능개선 기술 개발
Development of Fast Neutron Irradiation Technology for Improving Performance of Power Semiconductor 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국원자력연구원
Korea Atomic Energy Research Institute
연구책임자 선광민
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2019-05
과제시작연도 2018
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO201900021973
과제고유번호 1711075949
사업명 원자력기술개발사업(R&D)
DB 구축일자 2020-05-23
키워드 고속중성자.전력반도체.실리콘.감마선.Fast neutron.Power semiconductor.Si.IGBT.Gamma-rays.

초록 ▼

- 실리콘 웨이퍼에 대한 조사 요건 검토
- 반도체 웨이퍼에 대한 고속중성자 조사량 평가 방법론 확립
- 조사량 평가를위한 시료선정
- 중성자 조사 실험을 통한 시료 특성 조사
- 반도체 웨이퍼에 대한 중서자 조사 실험
- 조사 후 웨이퍼에 대한 방사선적, 전기적 특성 분석
- 반도체 웨이퍼에 대한 최적 조사 조건 도출
- 고속중성자 조사시험을 통한 전력반도체 성능변화 평가
- 열중성자/감마선 조사시험을 통한 전력반도체 성능 변화 평가
- 고속중성자/열중성자/감마선 유발조사 결함 물리

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 요약서 ... 3
  • 요약문 ... 4
  • 목차 ... 5
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 6
  • 가. 연구 개발의 개요 ... 6
  • 나. 연구 개발 대상의 국내·외 연구현황 ... 6
  • 다. 연구 개발의 중요성 ... 8
  • 2. 연구수행내용 및 성과 ... 9
  • 가. 연구 개발 목표 및 내용 ... 9
  • (1) 연구 개발 목표 ... 9
  • (2) 연구 개발 내용 ... 10
  • 나. 연구범위 및 연구수행 방법 ... 10
  • 다. 연구수행 내용 및 결과 ... 14
  • (1) 연구수행 내용 및 결과(요약) ... 14
  • (2) 연구수행 내용 및 결과(서술) ... 18
  • 라. 연구개발 성과 ... 106
  • (1) 연구개발 실적 ... 106
  • 3. 목표 달성도 및 관련 분야 기여도 ... 109
  • 가. 목표 ... 109
  • 나. 목표 달성여부 ... 111
  • (1) 연구개발 목표의 달성도 ... 111
  • (2) 평가의 착안점에 따른 목표달성도에 대한 자체평가 ... 113
  • 다. 목표 미달성 시 원인(사유) 및 차후대책(후속연구의 필요성 등) ... 115
  • (1) 목표 미달성 내용 ... 115
  • (2) 원인 및 차후대책 ... 115
  • (3) 후속연구의 필요성 (서술) ... 115
  • 4. 연구개발성과의 활용 계획 등 ... 116
  • 붙임. 참고문헌 ... 117
  • 끝페이지 ... 119

표/그림 (127)

참고문헌 (25)

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