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마이크로/나노 구조물의 잠닉손상 정밀 진단을 위한 초고분해능 음향현미경(GHz-AMS) 기술 개발
Development of the GHz-Acoustical Microscopy System with Ultra High Resolution for precision diagnosis on Hidden Damage of Micro/Nano Structure 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 서울과학기술대학교
연구책임자 박익근
참여연구자 김대현 , 김용성 , 노혜란 , 김정석 , 조청원 , 박태성 , 곽동열 , 이승미 , 김미소
보고서유형2단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2018-03
과제시작연도 2017
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO201900022539
과제고유번호 1711057867
사업명 방사선기술개발사업
DB 구축일자 2020-07-29
키워드 잠닉손상.GHz 음향현미경.비파괴평가.나노/마이크로 구조물.분산특성.동적거동.음향 렌즈.V(z) 곡선.물성평가.Hidden Damage.GHz Acoustical Microscope System.Nondestructive Evaluation.Nano/Micro Structures.Dispersion Characteristic.Dynamic Behavior.Acoustic Lens.V(z) Curve.Material Properties Evaluation.

초록

● 마이크로/나노 구조물의 잠닉손상기구 규명과 음향특성 모델링 및 GHz-AMS 용 센서 설계/제작
1) 마이크로/나노 구조물의 주요 잠닉손상 메커니즘 및 계면특성 규명과 음향특성인자와의
상관성 규명
2) 마이크로/나노 구조물에서의 음향 모델링 및 분석 알고리즘 개발
3) 잠닉손상 평가를 위한 GHz-AMS(Acoustical Microscopic System)용 최적 센서 설계/제작
● GHz 음향 현미경 기술을 이용한 잠닉손상 비파괴 진단ㆍ검사 기술 개발
1) GHz-AMS(Acoustical M

Abstract

□ Purpose
Our final objective is developing the core technology of the ultra-high resolution(10nm) GHz-AMS for diagnosing hidden damages in micro/nano structures and secure the reliability of the nondestructive diagnosis/inspection techniques by experimental verification.

□ Contents
● I

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 요약서 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • SUMMARY ... 14
  • CONTENTS ... 15
  • 목차 ... 17
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 19
  • 제 1절 연구개발의 목적 및 필요성 ... 19
  • 제 2절 연구개발의 목표 및 내용 ... 24
  • 제 2 장 국내․외 기술개발 현황 ... 26
  • 제 1절 선진국 연구개발 동향 및 기술수준 ... 26
  • 제 2절 국내 연구개발 동향 및 기술수준 ... 29
  • 제 3절 현기술상태의 취약성 ... 31
  • 제 4절 앞으로의 전망 ... 31
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 32
  • 제 1절 2단계 주요 연구내용 개요 ... 32
  • 제 2절 잠닉손상 진단을 위한 시험편 설계/제작 ... 34
  • 제 3절 음향특성 모델링/신호분석 및 시스템 운용 소프트웨어 개발 ... 59
  • 제 4절 GHz-AMS 시스템 핵심요소 기술 개발 ... 65
  • 제 5절 잠닉손상진단 기술 개발(실험적 검증) ... 92
  • 제 6절 잠닉손상 진단기술의 신뢰성 검증(타기법과의 비교검증) ... 100
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 108
  • 제 1절 연구 목표달성도 ... 108
  • 제 2절 관련분야에의 기여도 ... 111
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 112
  • 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 113
  • 제 7 장 연구장비의 구축 및 활용 결과 ... 116
  • 제 8 장 참고문헌 ... 117
  • 끝페이지 ... 126

표/그림 (118)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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