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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 최재영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-06 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO201900023410 |
과제고유번호 | 1345264259 |
사업명 | 개인기초연구(교육부) |
DB 구축일자 | 2020-08-08 |
키워드 | 그래핀.직성장.화학기상증착.무 전사.압력/유량제어 공급장치.기상촉매.응용소자.2차원 소재. |
□ 연구개요
본 연구는 촉매기판에 그래핀 합성 후 소자기판으로 전사 시 발생하는 그래핀 품질저하문제로 인한 그래핀/2차원소재의 산업적용 한계를 극복하기 위하여 소자기판으로의 직성장 기술을 개발하였음.
기존의 직접적인 직성장 그래핀 성장의 연구에 더하여 기 확보기술인 기상촉매 기술을 이용하였음. 기상촉매 기술을 사용하기 위한 입력/유량제어 공급장치의 신뢰성을 확보하였음. 공급 장치의 신뢰성을 바탕으로 기체 촉매 기반 직성장 기술 및 응용소자 개발에 성공하였음.
□ 연구 목표대비 연구결과
본 연구에서는 전사
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