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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전남대학교 Chonnam National University |
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연구책임자 | 지택수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-06 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
연구관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201900023977 |
과제고유번호 | 1345261814 |
사업명 | 개인기초연구(교육부) |
DB 구축일자 | 2020-08-08 |
키워드 | Nanosphere 리소그래피.Silicon Nano Wire.Metal assisted chemical.PDMS.sensitive sensor.Pizoresistance. |
□ 연구개요
실리콘 및 게르마늄과 같은 반도체 재료는 압축 응력이 가해질 때 밴드 갭이 좁아짐으로 인해 저항 변화가 일어나는데, 이 현상을 피에조 저항(Piezoresistance) 효과하고 하며 특히 실리콘 나노 와이어는 기존 실리콘보다 훨씬 높은 피에조 저항을 나타냄. 본 연구는 피에조 저항 효과를 이용한 촉각센서를 개발하기 위해 Metal Assisted Chemical etching(MAC etching)과 Nanosphere 리소그래픽을 이용, 대면적 Si Nano-wire를 제작함. 그러나, Si 나노와이어는 물리적
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