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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하대학교 InHa University |
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연구책임자 | 조명우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-05 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900023999 |
과제고유번호 | 1711052453 |
사업명 | 개인기초연구(미래부) |
DB 구축일자 | 2020-08-15 |
키워드 | 생체 모사.기능성 표면.융합 마스크리스 리소그래피.초정밀 연마.자기유변유체.양극 산화.마이크로 패터닝.나노 패터닝.롤 금형. |
□ 연구개요
본 연구에서는 생체 모사 공학을 적용한 기능성 표면을 제작하고 이에 대한 대면적화를 위한 Roll mold 제작에 대한 연구를 수행하고자 하였다. 이를 위해 다양한 형상의 마이크로 패턴 제작에 있어 유연하게 대체할 수 있고, 공정 효율의 극대화가 가능한 Maskless lithography 노광 공정과 금속에 산화 피막을 생성하여 나노 스케일의 기공을 형성시키는 양극 산화 공정을 통해 기능성 표면 제작을 위한 통합 공정을 제시하고자 하였음. 초정밀 연마 및 Maskless lithography와 양극 산화 공정의
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