초록 ▼

• Small field 선량을 측정할 수 있는 MEMS 기반 초소형 물 흡수체 열량계를 설계 및 제작
• 고민감도 온도 측정(-3.4%/K)이 가능한 Vanadium Oxide thermistor 공정개발 확립
• 온도변화를 측정 가능한 전기 측정회로 확립
• 노이즈 측정을 통한 온도측정 정밀도 ΔT<10^-4 K 확보
• 물 흡수체 집적 면적을 1 mm² 이하로 감소시켜 선량측정 불확도 감소
• 가시광 흡수에너지 측정시 5% 이내의 측정 재현성 확보
• 감마나이프를 통해 직경 4

• Small field 선량을 측정할 수 있는 MEMS 기반 초소형 물 흡수체 열량계를 설계 및 제작
• 고민감도 온도 측정(-3.4%/K)이 가능한 Vanadium Oxide thermistor 공정개발 확립
• 온도변화를 측정 가능한 전기 측정회로 확립
• 노이즈 측정을 통한 온도측정 정밀도 ΔT<10^-4 K 확보
• 물 흡수체 집적 면적을 1 mm² 이하로 감소시켜 선량측정 불확도 감소
• 가시광 흡수에너지 측정시 5% 이내의 측정 재현성 확보
• 감마나이프를 통해 직경 4mm의 small field 하에서 실험을 진행, 10Gy-100Gy 의 선량 측정
• 다양한 흡수체(SU-8 흡수체 및 물 흡수체)가 집적된 열량계의 선량 측정, 계산값과 근사한 수준으로 선량 측정 가능성 검증

(출처 : 보고서 요약서 4p)

Abstract ▼

Ⅳ. R & D results
Through the thermal conduction simulation, we have succeeded in designing the structure of the calorimeter with high sensitivity and developing the MEMS process necessary for fabrication. The manufactured calorimeter has an absorber area of less than 1 mm², which makes it possibl

Ⅳ. R & D results
Through the thermal conduction simulation, we have succeeded in designing the structure of the calorimeter with high sensitivity and developing the MEMS process necessary for fabrication. The manufactured calorimeter has an absorber area of less than 1 mm², which makes it possible to produce a size that was not accessible through conventional machining, and it is expected to increase the accuracy of measurement of the small radiation field. An electrical circuit was constructed to measure the dose, and temperature measurement accuracy of 10^-4K or less was achieved through noise measurement. The calorimeter calibration confirmed that the temperature sensitivity in the vacuum was greatly improved and the electric feedthrough integrated vacuum chamber system was implemented to enable the measurement of electricity in vacuum. We achieved measurement reproducibility of 5% in preliminary measurement by visible light, and succeeded in measuring temperature change rate of absorber which approximates the theoretical value in small field using gamma knife. Repeatability of the absorber temperature changing rate at 5 times of irradiation was 3.74 ± 0.15 mK/min for the SU8 absorber and 2.14 ± 0.14 mK/min for the water absorber.

(출처 : SUMMARY 7p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요 약 문 ... 5
• SUMMARY ... 7
• CONTENTS ... 9
• 목차 ... 11
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 12
• 1절 연구개발의 목적 및 개요 ... 12
• 2절 연구개발 대상의 중요성 및 필요성 ... 12
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 15
• 1절 국내외 기술 수준 ... 15
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 17
• 1절 미세유체 열량계 구조 설계 및 측정 시스템 구축 ... 17
• 2절 미세유체 열량계 제작 ... 21
• 3절 미세유체 열량계 개량 ... 23
• 4절 측정재현성 확인 및 small field 선량 측정 ... 30
• 5절 미세유체 열량계 구조 개선 ... 33
• 6절 다양한 흡수체가 집적된 열량계에 대한 방사선 조사 ... 39
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 44
• 1절 연구 목표 및 목표달성도 ... 44
• 2절 관련분야 기여도 ... 45
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ... 46
• 1절 추가연구의 필요성 및 상용화 추진 방향 ... 46
• 제6장 참고문헌 ... 47
• 끝페이지 ... 49