초록 ▼

□ 연구개요
본 연구에서는 복잡 산화물 박막의 물성 변화를 미시적 메커니즘 관점에서 이해하고 이를 기반으로 박막 소재의 물성 조절 능력 향상과 새로운 기능성 추구를 목표로 한다.

□ 연구 목표대비 연구결과
본 연구는 복잡 산화물 박막의 물성제어 변수의 관한 연구로 박막의 산소 공공 상태 혹은 계면 스트레인 변화에 따른 물성 변화 연구 및 메커니즘 이해를 통해서 박막소재의 물성 조절 능력 향상과 새로운 기능성 추구를 목표로 하였다. 투명전도성 물성을 나타내는 페로브스카이트 구조인 BaSnO₃

□ 연구개요
본 연구에서는 복잡 산화물 박막의 물성 변화를 미시적 메커니즘 관점에서 이해하고 이를 기반으로 박막 소재의 물성 조절 능력 향상과 새로운 기능성 추구를 목표로 한다.

□ 연구 목표대비 연구결과
본 연구는 복잡 산화물 박막의 물성제어 변수의 관한 연구로 박막의 산소 공공 상태 혹은 계면 스트레인 변화에 따른 물성 변화 연구 및 메커니즘 이해를 통해서 박막소재의 물성 조절 능력 향상과 새로운 기능성 추구를 목표로 하였다. 투명전도성 물성을 나타내는 페로브스카이트 구조인 BaSnO₃ 박막에 대해 연구하고자 하였으나, 박막 성장의 어려움과 물성 평가의 어려움으로 인해 이원자 산화물 박막에 대하여 물성제어 변수에 대한 연구를 하였다. 투명전도성 산화물 박막이자 동시에 묽은 자성 반도체로 널리 알려진 SnO₂ 박막과 자성 소자 및 촉매 소자에 적용될 수 있는 Fe₂O₃ 박막을 모델시스템으로 하였다. 박막 성장 시 성장 시간, 온도, 압력을 달리하여 제작하였으며, 성장 변수에 따른 물성의 거동이 특정한 경향을 나타내는 것에 대하여 그 원인을 조사하였다.

제 1 차년도: 다양한 박막 성장 조건에 따른 BaSnO₃ 박막의 구조변화 연구
■ 여러 가지 박막 성장 조건 (온도, 산소 분압, 압력)을 달리하여 BaSnO₃ 박막을 제작함.
■ X-선 회절 측정을 통해 제작된 박막의 구조를 평가하였으며, 최적의 성장 조건을 확인함.

제 2 차년도: 증착 시간에 따른 SnO₂ 박막의 전기적 특성 변화 및 증착 시간에 따른 γ-Fe₂O₃ 박막의 자기적 특성 변화 연구
■ 증착 시간을 달리하여 SnO₂ 박막 및 γ-Fe₂O₃ 박막을 제작함.
■ X-선 회절 측정을 통해 증착 시간에 따른 SnO₂ 박막 및 γ-Fe₂O₃ 박막의 결정 성장을 확인하였으며 결정성 변화를 확인함.
■ 증착 시간에 따른 SnO₂ 박막의 전기적 특성 변화를 조사함.
■ 증착 시간에 따른 γ-Fe₂O₃ 박막의 자기적 특성 변화를 조사함.

제 3 차년도: 증착 시간에 따른 SnO₂ 박막의 자기적 특성 변화 및 증착 시간에 따른 α-Fe₂O₃ 박막의 구조변화 연구
■ 전년도에 연구한 SnO₂ 박막의 자기적 특성 변화를 조사함.
■ 증착 온도 조건을 달리하여 Fe-oxide 박막을 제작하였으며, γ-Fe₂O₃ 상에서 α-Fe₂O₃ 상으로의 변화를 확인함.
■ 증착 시간에 따른 α-Fe₂O₃ 박막의 구조적 변화를 조사함.

□ 연구개발결과의 중요성
본 연구를 통하여;
■ 양질의 산화물 합성 및 박막 증착기술 확보한다.
■ 결함제어를 통한 박막의 물성 변화에 대한 미시적 현상을 이해한다.
■ 산화물 박막의 물성에 대한 박막 제작 변수의 역할 이해한다.
■ 산화물 연구를 위한 연구 인력의 확충과 기초기술을 확보한다.

(출처 : 연구결과 요약문 3p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구결과 요약문 ... 3
• 목차 ... 4
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• (1) 연구개발의 필요성 ... 4
• (2) 연구개발의 가설 및 최종목표 ... 4
• (3) 연구범위 ... 4
• 2. 연구수행내용 및 연구결과 ... 4
• 3. 연구개발결과의 중요성 ... 8
• 4. 참고문헌 ... 9
• 5. 연구성과 ... 9
• 끝페이지 ... 10