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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 이성주 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO201900025723 |
과제고유번호 | 1345271100 |
사업명 | 개인기초연구(교육부) |
DB 구축일자 | 2020-08-29 |
키워드 | 이차원 소재.이차원 소재 집적소자.이종접합 하이브리드 소재.차원융합형 나노소재. |
□ 연구개요
본 과제에서는 기존의 소재차원의 원리적 연구를 뛰어넘는, 실제 실리콘 반도체 소자를 대체할 수 있는 포스트 실리콘 소자로서의 가능성을 보여주기 위해서 대면적 공정 기술, 도핑, 인터페이스 제어기술 등의 단위 공정 개발, 이차원 나노소재에 적합한 집적화 공정 개발, 시스템화에 이르는 연구를 추진하였고, 이차원 소재(반도체, 전극, 절연체 등)에 적합한 도핑, 접합구조체 구현 및 집적공정 개발을 통해 CMOS 구현, 저전압/초저전력 구현에 필요한 소자 기술(새로운 동작개념의 소자), 메모리, FET 구현기술, 그리고
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