초록 ▼

□ 연구개요
- Mechanical failure-free stretchable oxide TFTs 구현을 위한 기반연구임.
- 스트레처블 산화물 TFT를 탄성률 모듈레이션이 적용된 기판위에 제작하여 산화물 TFT의 기계적 안정성을 향상시킴.
- 탄성률 모듈레이션을 적용하기에 적합한 기판소재를 선택하여 탄성률 모듈레이션 기판제작 공정을 개발함.
- 시뮬레이션을 활용하여 탄성률 모듈레이션 기판위에 제작된 산화물 TFT의 기계적 특성을 분석함.

□ 연구 목표대비 연구결과
- 본 연구과제의 최종목표

□ 연구개요
- Mechanical failure-free stretchable oxide TFTs 구현을 위한 기반연구임.
- 스트레처블 산화물 TFT를 탄성률 모듈레이션이 적용된 기판위에 제작하여 산화물 TFT의 기계적 안정성을 향상시킴.
- 탄성률 모듈레이션을 적용하기에 적합한 기판소재를 선택하여 탄성률 모듈레이션 기판제작 공정을 개발함.
- 시뮬레이션을 활용하여 탄성률 모듈레이션 기판위에 제작된 산화물 TFT의 기계적 특성을 분석함.

□ 연구 목표대비 연구결과
- 본 연구과제의 최종목표는 제작된 스트레처블 산화물(a-IGZO) TFT를 100% 기판신장에서 1000회 반복하였을 때, 전기적 특성변화를 5% 미만으로 구현하고, 또한 30cm²/V·s의 이동도와 10⁷ 이상의 I_ON/I_OFF를 가지는 스트레처블 a-IGZO TFT를 구현하는 것임.
- 본 연구과제의 연구결과는 아래와 같이 최종목표를 상회하는 연구결과를 얻었음.
이동도 35.4cm²/V·s 와 I_ON/I_OFF 1.17x10⁷의 전기적 특성을 가지는 스트레처블 a-IGZO TFT를 구현하였고, 100% 기판신장에서 1000회 반복 후 이동도와 I_ON/I_OFF의 변화가 3%임을 확인함.
또한, 스트레처블 a-IGZO TFT의 기판신장 과정에서의 변형을 분석하기 위해 기판의 물질 비율과 두께에 변화를 주어 유한요소법 기반의 시뮬레이션을 수행하였고, 그 결과를 이용하여 기계적 물성이 향상된 기판을 제작하였음.

□ 연구개발결과의 중요성
- 미래 디스플레이의 하나로 부상하고 있는 스트레처블 디스플레이에 있어서, 그 디스플레이를 구동시키는 TFT의 기계적 안정성 향상 연구는 필수적임. 본 연구결과를 통하여 탄성률모듈레이션을 적용한 기판의 활용이 스트레처블 산화물 TFT의 기계적 안정성 향상에 기여한다는 것을 확인하였음. 이는 mechanical failure-free stretchable oxide TFT 구현을 위한 토대연구로 중요한 의미가 있음.
- Mechanical failure-free stretchable oxide TFT는 경제적인 측면에서 스트레처블 기기뿐만 아니라 웨어러블 기기 전반에 활용이 가능하므로, 본 연구과제에서 제안하고 구현한 산화물 TFT는 산업적으로 큰 파급효과를 가지는 중요한 연구결과라 사료됨.

(출처 : 연구결과 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구결과 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 3
• 2. 연구수행내용 및 연구결과 ... 3
• 1) 공정 조건에 따른 IGZO TFT 제작 및 전기적 특성 분석 ... 4
• 2) 소스/드레인 전극 물질에 따른 a-IGZO TFT 제작 및 분석 ... 5
• 3) PDMS 공정 조건에 따른 기판 제작 및 기계적 특성 분석 ... 6
• 4) 유한요소법 기반 시뮬레이션을 이용한 탄성률 모듈레이션 기판 변형에 대한 응력 분포 분석 ... 6
• 5) 탄성률 모듈레이션 기판 이용한 스트레처블 a-IGZO TFT 제작 및 기판 신장에 따른 전기적 특성 분석 ... 7
• 3. 연구개발결과의 중요성 ... 8
• 4. 참고문헌 ... 8
• 5. 연구성과 ... 9
• 끝페이지 ... 11