최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
---|---|
연구책임자 | 오정우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202000000593 |
과제고유번호 | 1345301754 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-05-30 |
키워드 | 금속촉매 화학식각.나노마이크로 구조.화학적 임프린트.실리콘.화합물반도체. |
□ 연구개요
전자소자, 광학소자, 센서 등 다양한 분야에 활용되고 있는 반도체 3차원 나노마이크로 구조를 손쉽고 빠르게 제작하기 위해 리소그래피와 식각 공정을 통합할 수 있는 화학적 임프린트 기술을 개발하였다. 화학적 임프린트는 나노임프린트 리소그래피와 금속촉매화학식각을 결합한 기술로, 촉매금속 스탬프와 반도체 기판이 접촉했을 때 접촉영역에서만 선택적으로 금속촉매화학식각이 발생하는 현상을 이용하여 스탬프의 패턴을 반도체 기판에 전사한다. 본 과제에서는 화학적 임프린트를 소개함과 동시에 스탬프의 내구성, 공정 조건에 대한 연구를
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.