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NTIS 바로가기주관연구기관 | 울산대학교 University of Ulsan |
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연구책임자 | 김보흥 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202000001068 |
과제고유번호 | 1345301868 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-05-30 |
키워드 | 나노스케일 열전달.3D 프린팅.경계면 열전달.나노유체.상변환 모델링.Additive Manufacturing.Interface Thermal Resistance.Molecular Dynamics.Statistical Mechanics. |
□ 연구개요
나노정밀도의 소자 및 구조체 제작 기술은 주로 증착(vapor deposition) 등으로 형성된 베이스에 마스크와 에너지의 조사를 활용한 선택적인 포토리소그래피 (photolithograph)기반을 바탕으로 한 제작기법에 많이 의존하고 있으나 머지않은 미래에 현재 각광받고 있는 메소스케일(meso-scale) 3D 프린팅(3DP)과 유사한 과정으로 재료(substrate)들을 분자스케일로 직접 목표 사이트에 전달하여 극미량의 에너지 조사/제어를 이용한 상(phase) 변환으로 원하는 나노 소자의 제작에 필요한 구
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