초록 ▼

기존 2차원 소재의 물성 및 공정 한계점을 해결하기 위해, 본 연구팀은 ① 2차원 황화물기반 ② 그래핀 기반 ③ 산화물 기반 소재의 공정 개발을 연구한다.
① 2차원 황화물기반 소재연구에서는 원차증 증착법(ALD)을 이용하여 저온 공정을 개발하고자 한다. 이를 이용하여 전구체, 황 기반 가스의 주입시간 및 공정압 조절을 통해 최적의 recipe 확립함과 동시에 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 실제 증착결과와 비교 분석하여 최적의 대면적 저온 공정을 개발할 예정이다.
② 그래핀 기반 소재 연구에서는 원자구조를 변형하여 구조 결정

기존 2차원 소재의 물성 및 공정 한계점을 해결하기 위해, 본 연구팀은 ① 2차원 황화물기반 ② 그래핀 기반 ③ 산화물 기반 소재의 공정 개발을 연구한다.
① 2차원 황화물기반 소재연구에서는 원차증 증착법(ALD)을 이용하여 저온 공정을 개발하고자 한다. 이를 이용하여 전구체, 황 기반 가스의 주입시간 및 공정압 조절을 통해 최적의 recipe 확립함과 동시에 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 실제 증착결과와 비교 분석하여 최적의 대면적 저온 공정을 개발할 예정이다.
② 그래핀 기반 소재 연구에서는 원자구조를 변형하여 구조 결정 및 화학적, 전기적 특성 변화를 분석 및 구조변화, 전자거동 등의 상호작용에 관한 연구를 기반으로 HRTEM, Syncrotron 의 실험을 통해 전자구조(밴드갭) 형성원리를 이해하여 밴드갭 제어 매커니즘을 이해한다. 또한, 이 메카니즘을 이용하여 그래핀의 성질을 크게 잃지 않으면서 밴드갭을 가지는 다성분계 그래핀 반도체 합성법을 개발하고자 한다.
③ 2차원 산화물 소재 연구에서는 기본적으로 벌크 산화물의 광범위한 전도성 조절 기능을 2차원에서 구현할 수 있도록 국소 영역의 전도층 형성기술과 2차원 나노구조 형성 기술에 대하여 연구한다.

(출처 : 요약서 3p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요약문 ... 4
• 목차 ... 5
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 6
• 1절 연구개발의 개요 ... 6
• 2절 연구개발의 필요성 ... 6
• 2. 연구수행내용 및 성과 ... 9
• 1절 - 세부 1 연구 내용 ... 9
• 2절 - 세부 2 연구 내용 ... 70
• 3절 - 세부 3 연구 내용 ... 88
• 3. 목표 달성도 및 관련 분야 기여도 ... 117
• 1절 목표 ... 117
• 2절 목표 달성도 여부 ... 122
• 3절 목표 미달성 시 원인(사유) 및 차후대책(후속연구의 필요성 등) ... 124
• 4. 연구개발성과의 활용 계획 ... 126
• 참고 문헌 ... 128
• 끝페이지 ... 129