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NTIS 바로가기주관연구기관 | 가천대학교 Gachon University |
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연구책임자 | 조의식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000002795 |
과제고유번호 | 1345302577 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 2차원 전이금속다이칼코젠 박막.산화물 반도체.스퍼터링.급속 열처리 공정.제논 아크 플래쉬 램프.선택적 어닐링.박막 트랜지스터. |
□ 연구개요
◯ 플렉서블 기판상에 상온 스퍼터링 및 광소결에 의한 2차원 전이금속다이칼코젠 반도체 박막의 직접 성막 및 전자소자에의 응용
- 열이 아닌 광에 의한 어닐링 효과로 인한 공정 비용 및 시간 효율 극대화
- 기판에의 영향없는 선택적인 어닐링 효과로 인한 차세대 전자소자에의 활용도 극대화
- Shadow 마스크를 이용한 스퍼터링을 통한 전사 공정의 대체 및 패터닝 문제 해결
□ 연구 목표대비 연구결과
◯ 1차년도
· Xe-arc flash lamp 장비 setup (박막 어닐링
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