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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 조한철 |
참여연구자 | 윤종필 , 김형재 , 황영하 , 정승현 , 김도연 , 이태경 , 고정우 , 김연수 , 주성현 , 박준한 , 정영 , 박병건 , 신우상 , 이종현 , 신성호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-11 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100008331 |
과제고유번호 | 1711124951 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-08-14 |
키워드 | 반도체.인공지능.브러쉬.세정.비예측성 문제.Semiconductor.AI.Brush.Cleaning.Unpredictable error. |
□ 연구내용
○ 브러쉬 마모 측정 장치 개발 및 제작
○ FFT 특정주파수 분석을 통한 절입량 인식 개술 개발
○ 마모량(200 μm) 인식률 99.88% 인공지능 모델 개발 성공
□ 연구개발 성과
○ 정성적 성과
- FFT분석을 통한 Brush 접촉 유무 판단 가능 기술 확보
- FFT분석을 통한 Brush 절입량 인식 기술 확보
- 200 μm 분해능을 가지는 Brush 마모량 측정 기술 및 측정기 개발
- 인공지능 기반 Brush 마모량 인식가능 기술 개발 (99%
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.