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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 김철주 |
참여연구자 | Adam Wei Tsen |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-12 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000003766 |
과제고유번호 | 1711077501 |
사업명 | 국가간협력기반조성(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 박막 공정.2차원 소재.초전도 물질.표면 개질.Thin film process.2D materials.Superconductor.Surface passivation. |
본 연구는 웨이퍼 규모의 육방정 질화붕소를 합성하여 화학적으로 활성화된 2차원 물질 위 보호피막을 형성시켜 물질을 안정화 시키는데 있음. 본 연구진은 육방정 질화붕소의 웨이퍼 단위 합성 및 두께 제어 기술(단일 ~ 수백층)을 개발했고 비화학적 보호 피막 형성 공정을 개발 및 적용시켜 화학적으로 매우 불안정한 원자단위 물질을 안정화하는데 성공했음. 이를 통해 기존에 연구하기 힘들었던 물질의 물리적 현상들을 관측함.
(출처 : 보고서 요약서 3p)
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