초록 ▼

미래 반도체 소재인 이차원 전이금속 황화물(TMDCs, Transition Metal Dichalcogenides) 합성 장비의 상용화를 위해, 기보유한 특허를 바탕으로 한 전이금속 산화물의 플라즈마 원자층 증착(PE-ALD, Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) 과 플라즈마 기반 황화(Sulfurization) 공정을 1 대의 장비에서 진행하는 플라즈마 기반 TMDCs 합성 연구 장비를 구현하고자 함. 플라즈마 기반 TMDCs 합성장비를 통한 공정을 기술이전 하여, 수요기업의 사업화 비용 및 리

미래 반도체 소재인 이차원 전이금속 황화물(TMDCs, Transition Metal Dichalcogenides) 합성 장비의 상용화를 위해, 기보유한 특허를 바탕으로 한 전이금속 산화물의 플라즈마 원자층 증착(PE-ALD, Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) 과 플라즈마 기반 황화(Sulfurization) 공정을 1 대의 장비에서 진행하는 플라즈마 기반 TMDCs 합성 연구 장비를 구현하고자 함. 플라즈마 기반 TMDCs 합성장비를 통한 공정을 기술이전 하여, 수요기업의 사업화 비용 및 리스크를 낮추는데 기여함

(출처 : 요약서 3p)

Abstract ▼

Ⅰ. Research Purpose
Based on the existing patents, technical transfer and research will be carried out for the process development of the plasma enhancement atomic layer depostion (PE-ALD) transition metal oxide and plasma based sulfurization. The process for plasma based transition metal dichalc

Ⅰ. Research Purpose
Based on the existing patents, technical transfer and research will be carried out for the process development of the plasma enhancement atomic layer depostion (PE-ALD) transition metal oxide and plasma based sulfurization. The process for plasma based transition metal dichalcogenide (TMDCs), which is the future semiconductor material,will be optimized for the commercialization. This will contribute to reducing the cost and risk of commercialization of the demanding company.

Ⅱ. Research Contents
The research team has a prior technology that synthesizes PE-ALD based high-quality transition metal oxide and transfers it to the sulfurization equipment and synthesizes it into two-dimensional TMDCs.
However, commercialization of this technology requires the introduction of a two-dimensional TMDCs system for the synthesis of TMDCs, which allows the PE-ALD and sulfurization process to be carried out at once.
This research has developed reproducible plasma-based TMDCs process technology and equipment.

Ⅲ. Research and Commercialization Result
In the first year, the research started developing plasma-based TMDCs system based on the prior technology and conducted a basic strudy of the plasma-based TMDCs synthesis process. During the second year, the research on optimizing plasma-based TMDCs research equipment by adjusting various variables according to the needs of the demanding company is conducted to promote commercialization. 1 technology transfer and 10 million won in advance at the end of the first year,which achieves goal of this project.

(출처 : SUMMARY 5p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• SUMMARY ... 5
• CONTENTS ... 6
• 목차 ... 7
• 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 8
• 제 1 절 연구개발의 개요 ... 8
• 제 2 절 연구개발의 필요성 및 중요성 ... 10
• 제 3 절 사업화 성공시 기대효과 ... 11
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 14
• 제 3 장 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 16
• 제 1 절 연구개발 추진전략 및 방법 ... 16
• 제 2 절 연구개발 추진체계 ... 17
• 제 3 절 1차년도 연구결과 ... 18
• 제 4 절 2차년도 연구결과 ... 30
• 제 4 장 목표달성도 ... 37
• 제 1 절 1차년도 연구개발목표의 달성도 ... 37
• 제 2 절 2차년도 연구개발목표의 달성도 ... 38
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 39
• 제 1 절 기술적 측면 ... 39
• 제 2 절 경제·사회적 측면 ... 39
• 제 3 절 일자리 창출 측면 ... 40
• 제 4 절 학문적 측면 ... 40
• 제 6 장 사업화 수행 내용 및 결과 ... 41
• 제 1 절 기술이전 ... 41
• 제 2 절 사업화를 위한 핵심경쟁요인 분석 ... 41
• 제 3 절 기술사업화 계획 ... 42
• 제 7 장 연구비 집행실적 ... 44
• 제 1 절 1차년도 연구비 ... 44
• 제 2 절 2차년도 연구비 ... 45
• 제 8 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 46
• 제 9 장 참고문헌 ... 47
• 끝페이지 ... 48