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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)비엔에스 |
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연구책임자 | 배익순 |
참여연구자 | 이상민 , 유태선 , 장용진 , 최영상 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-08 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202000028787 |
과제고유번호 | 1415150318 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화 |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 흡착판.핵심부품.평면도.마이크로 홀. |
□ 최종목표
- 본 과제에서는 반도체 제조공정에 있어 기존의 세라믹으로 제조된 Robot Hand Stage를 세라믹이 아닌 Al+Anodizing으로 제작함으로서 현재 공정에 적용되어 사용되고 있는 Robot Hand Stage(Ceramic)의 문제점을 해결하고, 가격적인 측면과 성능적인 측면에서도 우수한 Robot Hand Stage를 개발하고자 함
□ 개발내용 및 결과
- 형상 설계: CAE 해석을 통한 안정성 검토
- Air Line 가공 기술 : Air Line 정밀도와 위치, 크기, 홀 간격
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