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NTIS 바로가기주관연구기관 | 건국대학교 KonKuk University |
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연구책임자 | 고성림 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-03 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100000609 |
과제고유번호 | 1711084958 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-06-05 |
키워드 | 금속산화물.저온 단시간 어닐링.극단파장 자외선.박막 트랜지스터.인쇄전자.연속공정.Intense Pulsed Light(IPL). |
연구개요
최근 금속산화물 기반 박막 트랜지스터는 투명성과 안정성, 고성능의 다양한 장점들로 인하여 많은 관심을 받고 있다. 특히 인쇄전자에 주로 사용되는 유기잉크를 비롯한 다양한 기능성 잉크들보다 더욱 우수한 성능으로 인해 관심이 뜨거우나, 용액의 어닐링을 위한 높은 온도는 금속산화물의 인쇄전자 공정의 적용에 있어 가장 큰 걸림돌이 되어왔다. 이를 해결하기 위해 열처리 방식이 아닌 UV, IR, IPL 등의 다양한 광 어닐링 방식을 이용하여 높은 어닐링 온도를 낮추고 장시간의 어닐링 시간을 단축하고자 하는 연구가 진행되어왔다.
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