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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 부성재 |
참여연구자 | 정혜정 , 백효진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-08 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100005891 |
과제고유번호 | 1711125094 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-06-26 |
키워드 | 유량센서.온도계수.백금.멤브레인.증착.Flow Sensor.TCR.Platinum.Membrane.Evaporation. |
□ 기업의 애로사항
◦ 디지털 플로우 스위치(Digital Flow Switch)는 전량 수입에 의존하고 있어 국산화가 필요성이 중대함 (일본-SMC, 독일-FESTO)
◦ 우리원 파트너기업이 관련 국내기업으로부터 해당 제품의 개발 및 제조를 제의 받아 제품 개발이 시급한 상황
□ 지원 (해결) 내용
○ 미소질량 유량센서 개발을 위한 소자(Chip) 제조 공정기술 지원
○ Pt 증착 및 Etching 기술을 디지털 플로우 스위치용 유량센서 개발에 적용 가능하도록 지원
○ 지원 세부 내용
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