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과제목표
ㅇ 반도체 식각공정 공간균일도 실시간 예측을 위한 AI 기반 광 스펙트럼 분석 플랫폼 개발

- 최종결과물
* 반도체 식각공정 방출 광 스펙트럼 다채널 실시간 수집 장치 (HW)
* AI 기반 다채널 광 스펙트럼 분석 및 식각공정 균일도 실시간 예측기술 (SW)
* 식각공정 실시간 예측 플랫폼 (HW/SW)
[채널(ch) 수 = 4, 공정예측시간 ≤ 100 ms/ch, 공정예측정확도 ≥ 90%]

과제내용
ㅇ 반도체 식각공정 방출 광 스펙트럼 실시간 수집 장치 개발

과제목표
ㅇ 반도체 식각공정 공간균일도 실시간 예측을 위한 AI 기반 광 스펙트럼 분석 플랫폼 개발

- 최종결과물
* 반도체 식각공정 방출 광 스펙트럼 다채널 실시간 수집 장치 (HW)
* AI 기반 다채널 광 스펙트럼 분석 및 식각공정 균일도 실시간 예측기술 (SW)
* 식각공정 실시간 예측 플랫폼 (HW/SW)
[채널(ch) 수 = 4, 공정예측시간 ≤ 100 ms/ch, 공정예측정확도 ≥ 90%]

과제내용
ㅇ 반도체 식각공정 방출 광 스펙트럼 실시간 수집 장치 개발
- 분광분석장치 (다채널 광 스펙트럼 수집 Optics + Spectrometer) 개발
- 다채널 광 스펙트럼 세기 교정기술 고도화
- 다채널 광 스펙트럼 통합수집-데이터변환기술 개발
- 데이터 전송속도 및 전송거리 향상 HW 개발
ㅇ 반도체 식각깊이와 광 스펙트럼 Big Data 확보
- 식각공정변수(전력, gas, 압력) 가변, 시간변화에 따른 광 스펙트럼 Big Data 수집 (1차년: 1 ch, 2차년: 4 ch)
- 식각공정 변수변화에 따른 식각깊이 및 공간분포 측정 (Ellipsometry)
ㅇ 다채널 광 스펙트럼 세기 실시간 분석 AI 기술 개발
- 1채널, 광 스펙트럼 Noise Filtering 기술 최적화
- 1채널, 식각깊이-광 스펙트럼 상관관계 파악
- 머신러닝기술 이용, 다채널 광 스펙트럼 Big Data 보정
- 머신러닝기술 이용, 다채널 식각깊이 예측 정확도 개선

ㅇ 식각공정 실시간 예측 플랫폼 개발
- 식각공정 EPD (End Point Detection) HW/SW 개발 (예측정확도 ≥ 90%)
- 개발 플랫폼, 수요기업 성능 및 신뢰성 검증
- Prototype 제품출시 (iVEPn, Intelligent Verified End Point n-channels)

과제수행방법
- 주관기관(프라임솔루션): AI 기반, 반도체 식각공정 방출 다채널 광 스펙트럼 수집/변환/분석 플랫폼(SW/HW) 개발
- 참여기관(한국기계연구원): 식각공정장비 안전운용, 시간변화에 따른 식각깊이, 식각공간분포, 광 스펙트럼 Big Data 제공
- 위탁기관(숭실대학교): 광 스펙트럼 Big Data 분석을 위한 머신러닝 모델 선정 및 식각공정 예측 정확도 개선

최종결과물(예상성과)
- 식각공정 실시간 예측 광 스펙트럼 분석 플랫폼 (SW/HW): 채널(ch)수 = 4, 공정예측 정확도 ≥ 90%, 예측시간 ≤ 100 ms/ch)

결과활용계획
- 개발 플랫폼, 반도체 수요업체 (장비 or 소자) 성능 및 신뢰성 검증
* 소자업체: 삼성전자, SK하이닉스, 동부하이텍
* 장비업체: 에이피티씨, 쎄메스, 서플러스글로벌
- 수요업체 Feedback에 의한 개발 플랫폼 성능 및 신뢰성 Upgrade
* 수요업체 맞춤형 제품 Customization
- Prototype 제품 출시 (모델명: iVEP4)

기대효과
- 4차산업 대응, 지능형 반도체 장비 운용을 위한 핵심원천기술 확보
- 10% 이하에 머물고 있는 반도체 공정모니터링 부품 국산화율 확대
- DRAM 미세화, Flash Memory 다층박막수 증가, 시스템 반도체 점유율 확대대응, 식각공정 정밀도 개선에 의한 국내 반도체 소자/장비업체 경쟁력 강화

(출처 : 요약서 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 서 ... 2
• 목차 ... 4
• I. 1단계(사전기획) 추진결과 ... 5
• 1 추진일정 및 실적 ... 5
• 2 1단계(사전기획) 추진결과 및 결론 ... 19
• 3 1단계(사전기획) 수행전 대비 비교표 ... 22
• II. 2단계(기술개발 및 사업화) 추진계획 ... 23
• 1 추진 필요성 ... 23
• 2 추진목표 ... 26
• 3 기술개발 추진계획 ... 33
• 4 사업화 추진계획 ... 43
• III. 과제 기본정보 ... 49
• 1 수행기관 현황 ... 49
• 2 주관 및 참여기관 정부출연 과제 수행실적(최근 3년간) ... 55
• 3 참여연구원 현황 ... 57
• 4 연구시설/장비 보유 현황 및 연구실 안전조치 이행계획 ... 60
• 5 최근 3년간 7대 산업 분야 사업화 실적(계약, 매출 발생 등) ... 62
• IV. 사업비 ... 63
• 1 1단계 사업비 집행 현황 ... 63
• 2 2단계 사업비 집행 계획 ... 65
• 첨부1 기술준비도 목표 ... 79
• 첨부2 시설장비 심의요청서(3천만원 이상 ~ 1억원 미만) ... 81
• 첨부3 7대 산업분야 사업화 실적증빙(계약서 등 매출발생 실적증빙) ... 83
• 첨부4 추가 제출서류 및 증빙 ... 84
• 끝페이지 ... 84