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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)프라임솔루션 |
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연구책임자 | 홍장식 |
참여연구자 | 허민 |
보고서유형 | 2단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-06 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100006899 |
과제고유번호 | 1711094129 |
사업명 | ICT혁신기업기술개발지원사업(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-07-17 |
키워드 | 반도체 식각.다채널.공정진단.광스펙트럼.인공지능.Semiconductor etching.Multi channel.Process monitoring.Optical spectrum.AI. |
과제목표
ㅇ 반도체 식각공정 공간균일도 실시간 예측을 위한 AI 기반 광 스펙트럼 분석 플랫폼 개발
- 최종결과물
* 반도체 식각공정 방출 광 스펙트럼 다채널 실시간 수집 장치 (HW)
* AI 기반 다채널 광 스펙트럼 분석 및 식각공정 균일도 실시간 예측기술 (SW)
* 식각공정 실시간 예측 플랫폼 (HW/SW)
[채널(ch) 수 = 4, 공정예측시간 ≤ 100 ms/ch, 공정예측정확도 ≥ 90%]
과제내용
ㅇ 반도체 식각공정 방출 광 스펙트럼 실시간 수집 장치 개발
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.