초록 ▼

□ 기업의 애로사항
○ 다성분계 금속계 합금 타겟은 대부분 해외 선진 기업과 연구소에 의해 개발 및 판매되는 실정임.
○ 국내의 경우 합금 타겟을 제작하는 기술이 거의 전무한 상태이며 다수가 수입에 의존하고 있기 때문에 국내 기업들은 코팅기술 개발의 한계와 이윤이 저하되는 문제점을 가지고 있음.
○ 합금 타겟을 제작하기 위해서는 주조법, 분말야금법 등이 있으며 고기능성을 가지는 코팅제작을 위해서는 고밀도, 미세한 조직, 균일한 조직 및 조성, 고내구성의 타겟이 필요함.
○ 고기능성 합금 타겟을 제작하기 위해 합

□ 기업의 애로사항
○ 다성분계 금속계 합금 타겟은 대부분 해외 선진 기업과 연구소에 의해 개발 및 판매되는 실정임.
○ 국내의 경우 합금 타겟을 제작하는 기술이 거의 전무한 상태이며 다수가 수입에 의존하고 있기 때문에 국내 기업들은 코팅기술 개발의 한계와 이윤이 저하되는 문제점을 가지고 있음.
○ 합금 타겟을 제작하기 위해서는 주조법, 분말야금법 등이 있으며 고기능성을 가지는 코팅제작을 위해서는 고밀도, 미세한 조직, 균일한 조직 및 조성, 고내구성의 타겟이 필요함.
○ 고기능성 합금 타겟을 제작하기 위해 합금분말 제조 및 타겟 제작 기술이 요구됨. (한국생산기술연구원의 타겟제작 원천기술 필요로 함)
- 기존 주조법으로 합금 타겟 제작 시 높은 취성의 영향으로 타겟이 깨지는 문제.
- 합금 분말 제조 시 분말의 오염문제로 고밀도 타겟 제작이 어려운 문제.
- 다양한 다성분계 합금타겟 제작을 위한 방안 필요.
- 대면적 타겟 제조를 위한 방안 필요.

□ 지원(해결) 내용
○ 다성분 합금분말 제조를 위해 진공 아토마이저법을 이용한 분말 제조
- 구형의 약 500㎛ 이하의 크기를 갖고 조성이 균일한 분말 제조조건 도출
○ 제조한 구형의 합금분말을 이용한 고밀도 소결체 제작
- 고밀도를 가지는 최적 소결조건(온도, 압력, 시간 등) 도출(상대밀도 98%↑)
○ 최적의 분말 제조 및 소결 공정 조건울 도출하여 타겟 제작
- 조직 및 조성이 균일한 Zr-Cu-Si 계 합금타겟 제작조건 도출

□ 지원 성과
○ 정성적 성과
- 구형의 약 20㎛ 이하의 미세한 크기를 가지는 합금 분말 제조
- 약 99% 의 상대밀도를 갖는 고밀도 소결체 제작
- 약 50㎛ 이하의 미세한 조직을 갖는 소결체 제작
- 높은 조성 균일도를 갖는 분말제조 및 소결체 제작
- 단위 면적당 약 12W/Cm² 이상의 내구성을 갖는 합금 타겟 제작
○ 추가 성과
- 합금분말 제조 및 타겟 제작 기술 기술이전 계획(한국생산기술연구원 특허 출원 중(출원번호: 10-2018-0103288))
○ 기술스펙 달성 성과

□ 기술적 우수성
○ 다양한 다성분계 조성의 합금 설계기술
○ 아토마이저법을 이용한 합금분말 제조 기술
- 구형의 미세한 합금분말 제조(약 20 ㎛ 이하)
- 크기 및 조성이 균일한 합금분말 제조
○ 고밀도 및 고내구성을 갖는 타겟 제작 기술
- SPS, 핫프레스, HIP 다양한 소결공법을 활용한 타겟 제작 기술
- 고밀도를 갖는 소결체, 타겟 제작 기술(공정 최적화)
- 조직 및 조성이 균일한 소결체, 타겟 제작 기술
- 단위 면적당 약 12W/Cm² 이상의 내구성을 갖는 타겟 제작 기술

□ 성과활용
○ 본 과제 결과와 한국생산기술연구원에서 보유하고 있는 원천기술을 활용
- 분말 제조 시 아토마이저 기술을 활용하여 다양한 다성분계 합금분말 제조 가능(분말 대량 제조(양산) 가능, 다양한 합금계 소재 선택성 확대)
- 분말 제조 및 타겟 제작 기술을 통해 다성분계 합금타겟 제품화 가능(현재 수입에 의존해온 타겟들을 국산화 가능함.)
- 다양한 다성분계 합금 타겟 및 이를 이용한 다기능성을 갖는 코팅에 대한 추가 연구과제 연계

(출처 : 지원 사례 요약 3p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 기관주요사업 연구보고서 ... 2
• 지원 사례 요약 ... 3
• 목차 ... 5
• 제 1 장 개요 ... 6
• 제 1 절 연구개발(지원) 목표 ... 6
• 제 2 절 연구개발(지원)의 필요성 ... 6
• 제 3 절 당해연도 연구개발(지원) 범위 ... 9
• 제 2 장 연구수행(지원) 내용 및 결과 ... 11
• 제 1 절 연구개발(지원) 추진 체계 ... 11
• 제 2 절 당해연도 연구개발(지원) 내용 ... 12
• 제 3 절 당해연도 연구개발(지원) 결과 ... 15
• 제 3 장 수요기업 성과활용 ... 26
• 제 1 절 수요기업의 성과 활용 ... 26
• 제 4 장 참고문헌 ... 27
• 끝페이지 ... 27