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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 최석우 |
참여연구자 | 김인호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-08 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100008275 |
과제고유번호 | 1711101061 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-08-14 |
키워드 | 몰리브덴.화학기상증착.분말야금.코팅.반도체.Molybdenum.CVD.Powder Metallurgy.Coating.Semiconductor. |
□ 기업의 애로사항
○ CVD 공정 중 이물질이 발생하면 증착과정이 고르게 진행되지 않아 코팅의 품질 문제가 발생 하는데 이로 인해 CVD 공정에 사용되는 부품들은 높은 순도 요구 되고 또한 몰리브덴 전극이 CVD 챔버에 안착되도록 하기 위해서 수요기업에서는 높은 치수 정밀도를 요구하고 있음
○ 참여기업인 엔에이티엠(주)는 몰리브덴 분말과 분말야금 공정에 필요한 모든 핵심장비를 갖추고 있으나 수요기업의 요구사항을 만족 시킬 수 있는 몰리브덴 전극 제조를 위한 공정개선 또는 기술개발이 필요함
□ 지원(해결) 내
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