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NTIS 바로가기주관연구기관 | 동아대학교 Donga University |
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연구책임자 | 이현섭 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO202100010952 |
과제고유번호 | 1345345941 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-04-23 |
키워드 | 하이드록실 라디칼.나노버블.화학기계적연마.하이브리드 가공.고능률 하이브리드 연마.Hydroxyl radical.Nano bubble.Chemical Mechanical Polishing.Hybrid machining.High-efficient hybrid polishing. |
□ 연구개발 목표 및 내용
■ 최종 목표
Hydroxyl radical과 용존산소량 제어를 통한 고능률 하이브리드 연마 공정 개발 및 기판용 난삭재 연마 요소기술 연구
■ 전체 내용
• Hydroxyl radical 생성과 하이브리드 연마 가공 실험을 위한 기초 테스트베드 작과 이를 통한 메커니즘 분석
• 나노/마이크로 버블을 이용한 슬러리 내 용존산소량 제어 시스템 개발 및 메커니즘 분석
• 시스템 통합 및 hydroxyl radical과 용손산소량 제어를 통한 시너지 효과 분석
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