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NTIS 바로가기주관연구기관 | 영남대학교 YeungNam University |
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연구책임자 | 김홍탁 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO202100011571 |
과제고유번호 | 1345335522 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-04-30 |
키워드 | 플라스마.스퍼터링.종이.그래핀.저주파.Plasma.Sputtering.Paper.Graphene.Low-frequency. |
□ 연구개발 목표 및 내용
■ 최종 목표
본 연구는 플라스마를 이용하여, 다양한 기능성 물질을 종이 표면에 성막하고, 또한 종이 표면 처리기술(On-paper growth process)을 개발한다. 이를 이용하여 고품질의 기능성을 가지는 종이 기판을 개발하는 것을 목표로 한다.
■ 전체 내용
저주파(60 Hz) 펄스 플라스마 스퍼터링 장비를 개발 및 종이기판의 손상없이 고품위 단위막 물질(ITO, TiO2, TiN, Al, Cu, PTFE)을 증착하는 기술 개발하여 다양한 기능을 가지는 종
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