최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
---|---|
연구책임자 | 소홍윤 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO202100011851 |
과제고유번호 | 1345345820 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-05-14 |
키워드 | 질화갈륨.미세전자기계시스템.극한환경.다기능 센서.Gallium nitride.Micro-Electro-Mechanical Systems.Harsh environments.Multifunctional sensors. |
□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
질화갈륨 반도체와 미세전자기계시스템 공정을 활용한 극한환경 내 다중신호 검출 센서 개발 연구
○ 전체 내용
인간이 접근하기 어려운 극한환경에서 전자·기계시스템의 효율 저하를 초래하는 온도, 압력, 습도, 자외선, 방사선 등을 실시간으로 동시에 측정할 수 있는 다기능 극한환경 센서 모듈을 개발
1차년도 : 질화갈륨 반도체를 이용한 미세전자기계시스템 공정 기술 및 플랫폼 개발
2차년도 : 개별 센서 개발 및 고온·고압에서의 전기적 성질을 통한 성능 평가
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.