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NTIS 바로가기주관연구기관 | 대구경북과학기술원 Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 이신범 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-06 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
등록번호 | TRKO202100012064 |
과제고유번호 | 1345344029 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-04-16 |
키워드 | 터널 소자.강유전체.산화 하프늄.tunnel device.ferroelectric.HfO2. |
□ 연구개발 목표 및 내용
■ 최종 목표
HfO2 기반의 강유전체를 터널 장벽으로 사용한 강유전체 터널 소자를 개발하고 성능 향상을 위하여 다양한 시도를 하고자 한다
■ 전체 내용
HfO2의 강유전성이 보존되는 임계 두께 측정 및 전극/기능성 박막/Hf0.5Zr0.5O2/전극 구조를 통해 강유전성 터널 장벽 높이 조절 및 성능 향상 시도.
■ 1단계(해당 시 작성)
• 목표 : HfO2
목차 Contents
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