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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 김장우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100012145 |
과제고유번호 | 1345317871 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-08-14 |
키워드 | X선 미러.스티칭 간섭계.초정밀 측정.X선 자유전자 레이저.X선 나노집속. |
□연구개요
광원에서 발생한 X선은 다양한 광학 소자에 의해 단색화, 미세화 등 실험 용도에 맞는 형태로 바꿔 사용됨. 반사형 광학 소자인 X선 미러는 X선 광학 소자 중 가장 많이 사용되는 광학 소자 중의 하나로, 표면 형상 정밀도에 의해 시료 위치에서의 X선 품질이 크게 좌우됨. X선 미러는 대부분 X선의 진행 방향으로 긴 직사각형의 표면을 지니고 있으며, 표면 형상은 용도에 따라 다양한 형상을 가짐. X선 미러에 허용되는 형상 오차는 파장과 입사각에 따라 다르지만, 경 X선 영역에서는 수 나노미터 정도로 매우 높은 정밀도가
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