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NTIS 바로가기주관연구기관 | 동국대학교 DongGuk University |
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연구책임자 | 조학동 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100012355 |
과제고유번호 | 1345317554 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-08-14 |
키워드 | 온도센서.멤브레인.실리콘 질화물.낮은 온도 저항계수.미세 패터닝.플라즈마 에칭.단일층 그래핀.다층 그래핀.전사. |
□ 연구개요
21세기 들어 급속한 산업 발전에 따라 열 문제는 나노미터 규모의 미세 공정으로 하이엔드 전자 장치를 응용한 산업에서 가장 중요한 문제 중 하나가되었다. 또한 빠른 동작 속도, 개선 된 온도 측정 분해능 및 소형화에 대한 요구가 높아짐에 따라 볼로미터 및 생물 의학 센서와 같은 온도 감지 응용 분야 등에서 새로운 소재 및 소자에 대한 중요성이 크게 증대되고 있다. 본 연구의 목표는 미세 가공된 실리콘 질화물(SiN) 멤브레인과 대표적 2차원 소재인 그래핀을 이용하여 다양한 센서산업과 바이오산업 등에 광범위하게 응용
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