최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한림대학교 HalLym University |
---|---|
연구책임자 | 박재훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100012800 |
과제고유번호 | 1345316959 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-08-28 |
키워드 | 산화물 반도체.용액 공정.박막 트랜지스터.점 결함.결정.점 결합.Pulse UV 소결.고압 소결.신뢰성. |
□ 연구개요
본 과제는 비탄성 레이저 분광법을 이용하여 ‘용액 공정으로 제작된 산화물 반도체 박막’에서의 광 산란 특성을 평가하고, 이를 기초로 산화물 반도체 조성 및 소결 방식에 따른 결정 구조를 분석한다. 그리고 다양한 온도와 압력 조건에서의 비탄성 레이저 분광 측정을 통해 외부 자극에 의해 발생하는 산화물 반도체의 결정 특성과 에너지 준위 변화를 분석한다. 따라서 본 연구는 현재 일반적으로 수행되는 용액 공정 산화물 반도체에 대한 화학적·물리적 반응 연구를 심화 발전시킬 것으로 기대되며, 확보한 연구 결과는 용액 공정형
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.