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NTIS 바로가기주관연구기관 | 제주대학교 Cheju National University |
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연구책임자 | 서혜원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-09 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100014888 |
과제고유번호 | 1345317766 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-10-02 |
키워드 | 이산화티타늄.서브 티타늄.플라즈마 분광학.질소 도핑.열반사 유리.광촉매.TiO2.TinO2n-1.heat mirror. |
□연구개요
- 저온 DC 스퍼터링 공정을 사용하여, 다양한 특성의 TiOx (TiO2, TiO2n-1) 박막을 성장하였음. 스퍼터링 성장시 리액티브 N2 가스를 사용하여 TiOx 박막에 N도핑을 시행하였고, 밴드 갭을 2.7 eV 까지 줄이는 데 성공하였음.
- 플라즈마 분광법을 통하여 박막 성장에 기여하는 플라즈마 종들의 에너지와 밀도 등을 조사하였음. 박막성장을 보다 직접적으로 제어 할 수 있었음
- 전도성을 개선한 복합적인 조성의 나노 구조인 TiOx
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