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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울과학기술대학교 |
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연구책임자 | 박익근 |
참여연구자 | 노혜란 , 김용성 , 김원섭 , 조청원 , 김준현 , 이승석 , 강동찬 , 최유민 , 박노귀 |
보고서유형 | 3단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-08 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100014939 |
과제고유번호 | 1711105532 |
사업명 | 방사선기술개발사업(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-10-09 |
키워드 | 잠닉손상.기가헤르츠 음향현미경 시스템.V(z) 곡선.나노/마이크로 구조물.음향렌즈.분산특성.Hidden Damage.Acoustical Microscope System.V(z) Curve.Nano/Micro Structures.Acoustic Lens.Dispersion Characteristic. |
● 마이크로/나노 구조물의 잠닉손상기구 규명과 음향특성 모델링 및 GHz-AMS 용 센서 설계/제작
1) 마이크로/나노 구조물의 주요 잠닉손상 메커니즘 및 계면특성 규명과 음향특성인자와의 상관성 규명
2) 마이크로/나노 구조물에서의 음향 모델링 및 분석 알고리즘 개발
3) 잠닉손상 평가를 위한 GHz-AMS(Acoustical Microscopic System)용 최적 센서 설계/제작
● GHz 음향 현미경 기술을 이용한 잠닉손상 비파괴 진단ㆍ검사 기술 개발
1) GHz-AMS(Acoustical Micr
□Purpose
Our final objective is developing the core technology of the ultra-high resolution(10nm) GHz-AMS for diagnosing hidden damages in micro/nano structures and secure the reliability of the nondestructive diagnosis/inspection techniques by experimental verification.
□Contents
● Inv
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