초록 ▼

● 마이크로/나노 구조물의 잠닉손상기구 규명과 음향특성 모델링 및 GHz-AMS 용 센서 설계/제작
1) 마이크로/나노 구조물의 주요 잠닉손상 메커니즘 및 계면특성 규명과 음향특성인자와의 상관성 규명
2) 마이크로/나노 구조물에서의 음향 모델링 및 분석 알고리즘 개발
3) 잠닉손상 평가를 위한 GHz-AMS(Acoustical Microscopic System)용 최적 센서 설계/제작
● GHz 음향 현미경 기술을 이용한 잠닉손상 비파괴 진단ㆍ검사 기술 개발
1) GHz-AMS(Acoustical Micr

● 마이크로/나노 구조물의 잠닉손상기구 규명과 음향특성 모델링 및 GHz-AMS 용 센서 설계/제작
1) 마이크로/나노 구조물의 주요 잠닉손상 메커니즘 및 계면특성 규명과 음향특성인자와의 상관성 규명
2) 마이크로/나노 구조물에서의 음향 모델링 및 분석 알고리즘 개발
3) 잠닉손상 평가를 위한 GHz-AMS(Acoustical Microscopic System)용 최적 센서 설계/제작
● GHz 음향 현미경 기술을 이용한 잠닉손상 비파괴 진단ㆍ검사 기술 개발
1) GHz-AMS(Acoustical Microscopic System)용 최적 센서 성능 검증
2) 잠닉손상 및 계면특성 평가를 위한 Micro/Nano Structured 박막 시험편 설계/제작
3) 초고분해능 신호처리 알고리즘 개선 및 SAW 분산성 해석 S/W 개발
4) GHz-AMS 개발을 위한 핵심요소 다축 제어 스캔 알고리즘, 데이터 수집 및 신호처리 소프트웨어 등) 기술 개발
5) GHz-AMS 기술을 이용한 마이크로/나노 구조물의 잠닉손상 진단ㆍ검사 기술 개발
6) 잠닉손상 비파괴 진단ㆍ검사 기술 신뢰성의 실험적 검증
▸(Opto-Acoustic, Nano-Indentation, Nano-Scratch, Micro Focus X-Ray 등)
● Protype GHz-AMS 장비 개발 및 신뢰성 검증
1) Prototype GHz-AMS 시스템 개발 및 유용성 검증
2) 다층박막 재료에서의 적용 가능성 평가 및 동적거동(응력, 고온)하에서의 잠닉손상 평가
3) 잠닉손상 실증시험편(압전 고분자 박막, 유연기판 등) 설계/제작
4) 잠닉손상 실증시험편에 대한 신뢰성의 실험적 검증
▸(Opto-Acoustic, Nano-Indentation, Nano-Scratch, Micro Focus X-Ray 등)

(출처 : 보고서 요약서 3p)

Abstract ▼

□Purpose
Our final objective is developing the core technology of the ultra-high resolution(10nm) GHz-AMS for diagnosing hidden damages in micro/nano structures and secure the reliability of the nondestructive diagnosis/inspection techniques by experimental verification.

□Contents
● Inv

□Purpose
Our final objective is developing the core technology of the ultra-high resolution(10nm) GHz-AMS for diagnosing hidden damages in micro/nano structures and secure the reliability of the nondestructive diagnosis/inspection techniques by experimental verification.

□Contents
● Investigation of hidden damage mechanisms from micro/nano structures and sensor design & fabrication for GHz-AMS
1) Investigation of hidden damage mechanisms from micro/nano structures and correlation between interfacial properties and acoustical characteristics
2) Acoustical modeling and analysis algorithm development for micro/nano structures
3) Optimal Sensor design & fabrication for GHz-AMS(Acoustical Microscopic System)
● Development of nondestructive diagnosis/inspection techniques for hidden damages using GHz acoustic microscopy system
1) Performance verification for GHz–AMS sensor
2) Design and fabrication of micro/nano structure specimens for evaluating hidden damages and interfacial properties
3) Performance improvement of the ultra high resolution signal processing algorisms and development of software for SAW dispersity analysis
4) Design/Fabrication of core component(multiaxis control scan algorithm, data acquisition and signal processing software) for developing the GHz-AMS(Acoustical Microscopic System)
5) Development of diagnosis/inspection techniques for hidden damages in micro/nano structures using GHz acoustic microscopy system
6) Experimental verification of the reliability for diagnosis/inspection techniques of hidden damages nondestructively
▸(GHz-AAFM, Nano-Indentation, Nano-Scratch, Micro Focus X-Ray)
● Development of protype GHz-AMS and reliability verification
1) Development of prototype GHz-AMS and validity verification
2) Usability verification for multi-layerd structure and evaluation of the hidden damages under dynamic environment(stress, temperature)
3) Design/Fabrication of the specimens(piezoelectric polymer thin film, flexible display) with hidden damage
4) Experimental verification of the reliability for the specimens(piezoelectric polymer thin film, flexible display)
▸GHz-AAFM, Nano-Indentation, Nano-Scratch, Micro Focus X-Ray)

□Expected Contribution(응용분야 및 활용범위포함)
By developing the GHz-AMS for evaluating hidden damages in micro/nano structures quantitatively, it is expected that we can secure the core technology to commercialize the GHz-AMS which could evaluate the hidden damages and material properties in the micro/nano structures. In addition, it will provide a comparable database for guaranteeing the reliability of various NDE techniques by establishing the nondestructive precision measurement techniques for micro/nano structure hidden damages. This technology is expected to be applied to advanced micro/nano and biotech industries dealing with nano materials/films, semiconductors, biological materials, and polymers.

(출처 : SUMMARY 17p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• SUMMARY ... 17
• CONTENTS ... 18
• 목차 ... 20
• 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 22
• 제 1절 연구개발의 목적 및 필요성 ... 22
• 제 2절 연구개발의 목표 및 내용 ... 27
• 제 2 장 국내·외 기술개발 현황 ... 31
• 제 1절 선진국 연구개발 동향 및 기술수준 ... 31
• 제 2절 국내 연구개발 동향 및 기술수준 ... 34
• 제 3절 현기술상태의 취약성 ... 36
• 제 4절 앞으로의 전망 ... 36
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 37
• 제 1절 주요 연구내용 개요 ... 37
• 제 2절 초고분해능 음향현미경 핵심요소 개발 (Activation Module, Data Acquisition System) ... 40
• 제 3절 잠닉손상 정밀진단을 위한 초고분해능 음향현미경 시스템 개발 ... 54
• 제 4절 잠닉손상 평가를 위한 초고분해능 음향현미경용 최적 센서 개발 (Matching Unit) ... 76
• 제 5절 마이크로/나노 구조물에서의 음향특성 모델링 및 신호분석 알고리즘 개발 ... 118
• 제 6절 마이크로/나노 구조물에서의 음향특성 모델링 및 신호분석 소프트웨어 개발 ... 132
• 제 7절 초고분해능 음향현미경용 통합소프트웨어 개발 ... 136
• 제 8절 잠닉 손상 기구 메카니즘 규명 및 음향 특성 인자들의 상관성 분석을 위한 실험적 검증 ... 142
• 제 9절 마이크노/나노 구조물에서의 잠닉손상진단 기술(실험적 검증) 개발 ... 171
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 195
• 제 1절 단계별 연구개발 수행 내용 ... 195
• 제 2절 연구 목표달성도 ... 202
• 제 2절 관련분야에의 기여도 ... 205
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 206
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 208
• 제 7 장 연구장비의 구축 및 활용 결과 ... 211
• 제 8 장 참고문헌 ... 212
• 끝페이지 ... 225