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NTIS 바로가기주관연구기관 | 충남대학교 Chungnam National University |
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연구책임자 | 김문덕 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-12 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100015706 |
과제고유번호 | 1711112529 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-10-30 |
키워드 | 질화물반도체.표면탄성파 센서.환경센서.나노구조.감도.반응도.흡수체.최저 감지도.저항형 센서. |
□ 연구개요
본 연구는 질화물 반도체 나노체 내에서의 에너지 밴드구조 등 물성 제어를 통해 최적의 가스 검출을 위한 이론적 근거를 확립하며, 상기 나노 감지구조와 표면탄성파(SAW)를 이용하여 기존의 센서 대비 검출한계를 획기적으로 향상시킬 수 있는 검출구조를 구현하고자 하는 연구이다. 주요 연구내용은 In 이 포함된 질화물 반도체 밴드 휨 및 corrugated Si 기판에서 나노체의 선택성장 메커니즘 이해, 물성 제어된 나노구조체의 환경 감지기구 연구 및 최적의 감지 구조연구, 표면탄성파와 상기 연구에 의해 제어된 나노구조
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