초록 ▼

본 과제에서는 상기 연구 목표에 대하여 최종적으로 다음과 같이 연구 개발을 수행함.
1. 그래핀 기반 고성능 유연 소자 및 집적회로 개발
- 고품질 그래핀 성장 및 전사 기술의 개발
- 그래핀 소자용 단위 공정 및 집적 회로 기술 개발 최적화
- 초고속 그래핀 동작을 위한 설계 및 모델링을 이용한 저주파 노이즈 분석
- RF 그래핀 공정/소자 설계 및 CMOS 융합 하이리드 집적회로 개발
2. 실리콘 나노 멤브레인 기반 고성능 유연 집적회로 기술 개발
- 단결정 실리콘 나노멤브레인 형성 및 전사

본 과제에서는 상기 연구 목표에 대하여 최종적으로 다음과 같이 연구 개발을 수행함.
1. 그래핀 기반 고성능 유연 소자 및 집적회로 개발
- 고품질 그래핀 성장 및 전사 기술의 개발
- 그래핀 소자용 단위 공정 및 집적 회로 기술 개발 최적화
- 초고속 그래핀 동작을 위한 설계 및 모델링을 이용한 저주파 노이즈 분석
- RF 그래핀 공정/소자 설계 및 CMOS 융합 하이리드 집적회로 개발
2. 실리콘 나노 멤브레인 기반 고성능 유연 집적회로 기술 개발
- 단결정 실리콘 나노멤브레인 형성 및 전사 기술 최적화
- 고성능 고유연 실리콘 나노 멤브레인 소자 개발 및 최적화
- 고성능 고유연 실리콘 나노 멤브레인 집적 회로 개발 (센서, 증폭기)
- 유사 생명 환경에서의 집적회로 성능 분석 및 동물 필드 테스트 시연
3. 고성능 고유연 고분자 절연막 기반의 고성능 유연 소자 개발
- 개시제 이용한 화학 기상 증착 장비(iCVD)를 활용한 고성능/고유연 고분자 게이트 절연막 개발
- 유-무기 하이브리드 절연막 합성을 위한 장비의 설계 및 개발과 공성 조건 최적화
- 고유전율 고유연 유-무기 하이브리드 절연막 라이브러리 확보 및 고성능 소자 개발
- 하이브리드 절연막 기반의 2단자, 3단자 초고성능 고신뢰성 유연 메모리 개발
지난 110개월 동안 79편 SCI 논문 게제 2편의 비SCI 논문 게제, 53건의 학회 발표, 15건의 특허등록, 22건의 특허 출원, 14회의 초청강연, 11건의 수상실적 성과, 13건의 언론 성과 달성

(출처 : 요약서 3p)

Abstract ▼

Purpose & Contents
◦ Synthesis of Graphene and flexible RF IC technology
◦ Development of Si-nanomembrane for soft CMOS IC technology
◦ iCVD based polymeric dielectric for soft electronics

Results
◦ Sythesis development of high performance defect-free graphene
◦ Optimization &

Purpose & Contents
◦ Synthesis of Graphene and flexible RF IC technology
◦ Development of Si-nanomembrane for soft CMOS IC technology
◦ iCVD based polymeric dielectric for soft electronics

Results
◦ Sythesis development of high performance defect-free graphene
◦ Optimization & flatform construction of graphene device technology
◦ High performance, flexible, RF IC technology
◦ Formation of high performance and flexible Si-nanomembrane
◦ Si nanomembrane based soft electronics and sensor
◦ High performance flexible Si-nanomembrane CMOS IC
◦ Synthesis of high performance polymer dielectric via iCVD
◦ Development of high-k dielectric and soft electronic device via iCVD
◦ New soft electronic devices based on polymer dielectric

Expected Contribution
This project accomplished a development of novel synthesis/material/device/process/ integrated-circuit for high-performance, high quaility, and large-scaled soft electronics. We will achieve the original technologies of soft electronics to lead on the global advanced technology of soft nano mateirals/devices, based on studies of physical/chemical properties. The newly developed soft integrated-circuit technology could push forward the realization of soft electronics and wearable applications. Based-on synthesis technology of high-quality graphene, our group have accomplished the development of high performance soft RF device and integrated-circuits for RFID/communications, one of the essential functions in the wearable electronics. The technical platform can be provided by preempting the technologies of RF devices/circuits for the identification and communication in the growing IoT industry. To satisfy high performace/reliability/stability requirements in the bio-medical field, our group have developed high performance Si-NM based soft integrated-circuits. It will lead the innovation of the clinical diagnosis and growth of the medical equipments industry. In addition, our group have developed a synthesis process of novel polymer-based dielectrics, implementing to the highly reliable soft memory devices as well as semiconductor-display industries, etc. The highly flexible integrated circuit technology will bring great revolution in the wearable, flexible, and soft electronic markets as well as the silicon-based conventional industry. In particular, the competitiveness of the semiconductor-display industry can be greatly improved by acheiving the original technology in the material-process field. The newly developed technology will be expected to enrich the human lifestyle. Also, it push forwards the growth of sensitive and human-interactive electronics industry, as well as energy technology and artificial intelligent field. The multi-functional electronic devices, hard to be realized by conventional technology, could be implemented by new soft integrated-circuit technology. Furthermore, it leads the innovation of numorous industrial fields such as medical, military, ubiquious home applications, etc. Therefore, high-value business could be created by pre-occupying standard of medical instruments, equipments, and clinical surgery.

(출처 : SUMMARY 5p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요약문 ... 4
• SUMMARY ... 5
• Index ... 6
• 목차 ... 7
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 8
• 1-1. 연구개발의 필요성 ... 8
• 1-2. 연구개발의 목적 ... 9
• 1-3. 연구개발 범위 ... 10
• 2. 연구개발과제의 개요 ... 11
• 2-1. 연구 배경 ... 11
• 2-2. 연구 범위 및 추진체계 ... 20
• 2-3. 연구 수행 내용 및 결과 ... 23
• 3. 목표 달성도 및 관련 분야 기여도 ... 65
• 3-1. 목표 ... 65
• 3-2. 목표 달성 여부 ... 65
• 3-3. 관련분야 기여도 ... 70
• 3-4. 후속연구의 필요성 ... 71
• 4. 연구개발성과 활용계획 ... 72
• 4-1. 연구개발성과 활용 계획 ... 72
• 4-2. 기대효과 ... 72
• 5. 연구개발성과의 보안 등급 ... 73
• 6. 국가과학기술종합정보시스템에 등록한 연구시설·장비 현황 ... 73
• 7. 연구개발과제 수행에 따른 연구실 등의 안전 조치 이행 실적 ... 73
• 8. 연구개발과제의 대표 연구 실적 ... 74
• 9. 기타 사항 ... 91
• 10. 참고 문헌 ... 92
• 끝페이지 ... 93