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Kafe 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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연구책임자 | 전형탁 |
참여연구자 | 신영한 , 서형탁 , 전기준 , 이승백 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-09 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100019015 |
DB 구축일자 | 2022-03-12 |
키워드 | 2차원.대면적.저온.도핑.트랜지스터.2-dimensional.large area.low temperature.doping.transistor. |
기존 2차원 소재의 물성 및 공정 한계점을 해결하기 위해, 본 연구팀은 ① 2차원 황화물기반 ② 그래핀 기반 ③ 산화물 기반 소재의 공정 개발을 연구한다.
① 2차원 황화물기반 소재연구에서는 원차증 증착법(ALD)을 이용하여 저온 공정을 개발하고자 한다. 이를 이용하여 전구체, 황 기반 가스의 주입시간 및 공정압 조절을 통해 최적의 recipe 확립함과 동시에 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 실제 증착결과와 비교 분석하여 최적의 대면적 저온 공정을 개발할 예정이다.
② 그래핀 기반 소재 연구에서는 원자구조를 변형하여 구조 결정
기존 2차원 소재의 물성 및 공정 한계점을 해결하기 위해, 본 연구팀은 ① 2차원 황화물기반 ② 그래핀 기반 ③ 산화물 기반 소재의 공정 개발을 연구한다.
① 2차원 황화물기반 소재연구에서는 원차증 증착법(ALD)을 이용하여 저온 공정을 개발하고자 한다. 이를 이용하여 전구체, 황 기반 가스의 주입시간 및 공정압 조절을 통해 최적의 recipe 확립함과 동시에 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 실제 증착결과와 비교 분석하여 최적의 대면적 저온 공정을 개발할 예정이다.
② 그래핀 기반 소재 연구에서는 원자구조를 변형하여 구조 결정 및 화학적, 전기적 특성 변화를 분석 및 구조변화, 전자거동 등의 상호작용에 관한 연구를 기반으로 HRTEM, Syncrotron 의 실험을 통해 전자구조(밴드갭) 형성원리를 이해하여 밴드갭 제어 매커니즘을 이해한다. 또한, 이 메카니즘을 이용하여 그래핀의 성질을 크게 잃지 않으면서 밴드갭을 가지는 다성분계 그래핀 반도체 합성법을 개발하고자 한다.
③ 2차원 산화물 소재 연구에서는 기본적으로 벌크 산화물의 광범위한 전도성 조절 기능을 2차원에서 구현할 수 있도록 국소 영역의 전도층 형성기술과 2차원 나노구조 형성 기술에 대하여 연구한다.
(출처 : 보고서 요약서 3p)
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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